Nordiko Technical Services

Nordiko Inc.

Английская компания Nordiko Inc. (NORDIKO) основана в 1972 году и имеет более чем 40-летний опыт создания оборудования для осаждения материалов в вакууме магнетронами, распыления материалов ионным пучком и осаждения его на подложку (Ion Beam Deposition), травления ионным пучком (Ion Beam Etching). Компания имеет ряд ключевых патентов в области создания источников плазмы и устройств ускорения ионных пучков, которые вылились в создание широкой линейки собственных ионных пушек с диаметрами пучков от 10 до 30 см. Компания NORDIKO долгое время принадлежала японской группе компаний CANON, но в 2011 году была выкуплена и сейчас является частной компанией.

Основные системы и установки:

СИСТЕМЫ С ИОННЫМИ ПУШКАМИ:СИСТЕМЫ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК (PVD):

Осаждение тонких пленок и травление тонких пленок ионными пучками для производства полупроводников (кремний, III-V, II-VI), магнитных головок и сенсоров, MEMS, фотоники, светодиодов - LEDs, ПАВ-устройств, микроболометров и других устройств, возникающих в быстро меняющемся мире нано-исследований.

Установка травления ионным пучком Alpha 120
Установка осаждения тонких пленок при распылении материалов ионным пучком серии 3400
Установка травления ионным пучком модели 7500
Установка травления ионным пучком Mnem-IX

Линейка PVD оборудования компании Nordiko представлена системами для исследований и разработок, а также производственных систем для небольших партий продукции. Каждый процессный модуль может быть выпущен компаний как отдельно-стоящий, так и интегрирован в состав с другими производственными модулями и роботизированными устройствами подачи/выгрузки подложек (кластеры)

Компактная PVD-система осаждения тонких пленок магнетронами серии N2000
Модуль серии 5000 интегрированный в кластер

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
Магнетронное распыление (PVD)
Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)

Дополнительная информация:

Технологии травления ионным пучком
Элементы ваккумных систем
Расходные материалы