+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


7500Nordiko

Вакуумная установка травления направленным ионным пучком тонких пленок различного состава, металлов, полупроводниковых пластин и др. образцов


nordiko-7500

Модель 7500 установки травления компании Nordiko представляет собой свежий взгляд на систему травления широким ионным пучком.

 

Ускоряющая система ионного пучка в данной установке подстраивается под специальные требования процесса каждого отдельного заказчика для того, чтобы получить наибольшую выгоду от его использования.

 

Продуктом затраченных усилий при разработке данной системы явилась высочайшая степень повторяемости полученных результатов при травлении образцов, при максимальной однородности травления по всей площади подложек.

 

Система снабжена двумя нейтрализаторами ионной компоненты пучка в виде «плазменных мостов», может использовать автоматическое устройство подачи пластин из кассеты, по стандарту SEMI, и сконфигурирована для работы с пластинами до 200 мм в диаметре или с подложками прямоугольной формы со сторонами длиной 225 мм.

 

Опционально установка может использовать устройство определения точки окончания процесса травления по анализу вторичных ионов (SIMS).

 

Манипулятор подложек водоохлаждаемый с функцией осевого вращения подложек и возможностью изменения угла его наклона по отношению к ионному пучку.


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
  • Магнетронное распыление (PVD)
  • Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО