N2000Nordiko
Вакуумная установка осаждения тонких пленок
История компании Nordiko начиналась с разработки и производства вакуумных систем осаждения тонких пленок при применении в качестве источников потоков осаждаемого на подложку материала. Только после 10-лет разработки таких систем компания начала разработку и создание установок с ионными пушками для травления и нанесения тонких пленок. И вот в ответ на запросы заказчиков компания разработала и выпустила на рынок установку серии N2000.
Установка представляет собой компактную систему с 4-мя диаметром по 150 мм установленных конфокально к манипулятору подложек. Манипулятор подложек имеет функцию вращения и может работать с подложками до 200 мм в диаметре.
Установку можно дооснастить вакуумной загрузочной камерой с подачей пластин по одной или загрузочной камерой с кассетой на 25 пластин или экономичным вариантом с кассетой на 4 пластины.
Особенности:
- Компактная система
- Напыление сверху-вниз
- Осаждение на вращаемый подожкодержатель
- Пластины до 200 мм
- Изменяемое расстояние источники-подложка
- Возможна одновременная работа нескольких в цикле
- Реактивное осаждение пленок
- ВЧ/ПТ работа источников питания
Опции:
- ВЧ смещение на подложку
- Нагрев подложек
- Проекция магнитного поля в области подложки
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
- Магнетронное распыление (PVD)
- Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)
Дополнительная информация:
Технологии травления ионным пучком- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
