+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


N2000Nordiko

Вакуумная установка осаждения тонких пленок


Nordiko N2000

История компании Nordiko начиналась с разработки и производства вакуумных  систем осаждения тонких пленок при применении в качестве источников потоков осаждаемого на подложку материала. Только после 10-лет разработки таких систем компания начала разработку и создание установок с ионными пушками для травления и нанесения тонких пленок. И вот в ответ на запросы заказчиков компания разработала и выпустила на рынок установку серии N2000.

 

Установка представляет собой компактную систему с 4-мя диаметром по 150 мм установленных конфокально к манипулятору подложек. Манипулятор подложек имеет функцию вращения и может работать с подложками до 200 мм в диаметре.

 

Установку можно дооснастить вакуумной загрузочной камерой с подачей пластин по одной или загрузочной камерой с кассетой на 25 пластин или экономичным вариантом с кассетой на 4 пластины.

Особенности:


  • Компактная система
  • Напыление сверху-вниз
  • Осаждение на вращаемый подожкодержатель
  • Пластины до 200 мм
  • Изменяемое расстояние источники-подложка
  • Возможна одновременная работа нескольких в цикле
  • Реактивное осаждение пленок
  • ВЧ/ПТ работа источников питания

Опции:


  • ВЧ смещение на подложку
  • Нагрев подложек
  • Проекция магнитного поля в области подложки


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
  • Магнетронное распыление (PVD)
  • Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО