+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


3400Nordiko

Вакуумная установка распыления направленным ионным пучком различных материалов и осаждения тонких пленок этих материалов на различные подложки


nordiko-3400

Модель 3400 компания Nordiko представляет собой передовую вакуумную систему осаждения тонких пленок, предназначенную в первую очередь для работы с диэлектрическими и металлическими пленками.

 

Ионный пучок распыляет одну из четырех имеющихся внутри камеры мишеней  создавая поток материала, который осаждается на подложку. Вторая ионная пушка направлена прямо на столик с подложками и служит либо для предочистки подложек до осаждения на них пленки материала, либо для ассистирования при осаждении.

 

Уникальная геометрия установки вкупе с выдающимися характеристиками ионной пушки обеспечивают превосходную однородность осаждаемой пленки на пластинах диаметром 200 мм. Небольшая модификация данной системы позволяет работать с пластинами и до 300 мм, при этом однородность осажденной пленки ухудшается совсем незначительно.

 

 

 

Ниже даны некоторые данные по однородности осажденной пленки:

 

nordiko-3400

 

 

Во время осаждения пленок столик вращает удерживаемую на нем пластину (подложки) и эта функция наряду с возможностью изменения наклона столика с подложками по отношению к потоку осаждаемого материала позволяет оптимизировать гомогенность и морфологию растущей пленки.

 

Для чувствительных процессов с подачей реактивных газов система может быть дополнена устройствами управления парциальным давлением в камере.

 

Мир современных нанотехнологий требует особо точных инструментов, к которым и относится модель 3400. Данная система с двумя ионными источниками генерирует особо точные ионные пучки, требуемые для процессов распыления и осаждения материалов. Эта и другие, выпускаемые компанией Nordiko системы и установки работают при производстве устройств памяти MRAM, создания магнитных записывающих головок или микроболотометров.


Брошюра на англ. языке: Nordiko_3400.pdf



Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
  • Магнетронное распыление (PVD)
  • Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО