3400Nordiko
Вакуумная установка распыления направленным ионным пучком различных материалов и осаждения тонких пленок этих материалов на различные подложки
Модель 3400 компания Nordiko представляет собой передовую вакуумную систему осаждения тонких пленок, предназначенную в первую очередь для работы с диэлектрическими и металлическими пленками.
Ионный пучок распыляет одну из четырех имеющихся внутри камеры мишеней создавая поток материала, который осаждается на подложку. Вторая ионная пушка направлена прямо на столик с подложками и служит либо для предочистки подложек до осаждения на них пленки материала, либо для ассистирования при осаждении.
Уникальная геометрия установки вкупе с выдающимися характеристиками ионной пушки обеспечивают превосходную однородность осаждаемой пленки на пластинах диаметром 200 мм. Небольшая модификация данной системы позволяет работать с пластинами и до 300 мм, при этом однородность осажденной пленки ухудшается совсем незначительно.
Ниже даны некоторые данные по однородности осажденной пленки:
Во время осаждения пленок столик вращает удерживаемую на нем пластину (подложки) и эта функция наряду с возможностью изменения наклона столика с подложками по отношению к потоку осаждаемого материала позволяет оптимизировать гомогенность и морфологию растущей пленки.
Для чувствительных процессов с подачей реактивных газов система может быть дополнена устройствами управления парциальным давлением в камере.
Мир современных нанотехнологий требует особо точных инструментов, к которым и относится модель 3400. Данная система с двумя ионными источниками генерирует особо точные ионные пучки, требуемые для процессов распыления и осаждения материалов. Эта и другие, выпускаемые компанией Nordiko системы и установки работают при производстве устройств памяти MRAM, создания магнитных записывающих головок или микроболотометров.
Брошюра на англ. языке: Nordiko_3400.pdf
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
- Магнетронное распыление (PVD)
- Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)
Дополнительная информация:
- Технологии травления ионным пучком
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
