SVT Associates, Inc.Лазерная абляция (PLD) |
SVT Associates |
PLD системы:
Ключевые компоненты выпускаемые SVTA для PLD:
RHEED
Дифракция быстрых электронов на отражение – метод анализа структуры поверхности растущих пленок в процессе их осаждения на подложку.
AccuTempTM
Передовая система измерения в реальном времени температуры подложки, скорости осаждения пленки материала и ее показателя преломления.
AccuFluxTM
Ключевая система наблюдения в реальном времени плотности потока испаренного материала и его состава во время процессов осаждения тонких пленок.
Катодолюминесценция Insitu
Метод измерения в реальном времени состава, оптических характеристик и уровня легирования нитридных и оксидных пленок в процессе их осаждения на подложку.
RFPlasmaSource
Источники ВЧ Плазмы для N2, O2, и H2.
UHV Vacuum cases
Системы транспортировки образцов в сверхвысоком вакууме.
Основные выпускаемые системы и технологии:
- Молекулярно-лучевая эпитаксия MBE
- Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
Атомно-слоевое осаждение ALD Systems- Металл-органического газо-фазного осаждения MOCVD
- Установки для расщепления пластин и пассивации граней
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Эффузионные источники
- Вентильные источники материалов
- Электронно-лучевые источники
- Нагреватели подложек
- Манипуляторы подложек
- Газовые инжекторы
- Источники атомарных потоков для О2, Н2, N2
- Источники плазмы
- Системы подачи озона
Средства и модули характеризации пленок:
- Атомно-абсорбционные спектрометры
- RHEED - Дифракция быстрых электронов на отражение
- Пирометры
- Катодолюминесценция
Дополнительная информация:
- Технологии PLD
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
