ЭПИТАКСИЯ (Molecular Beam Epitaxy) |
Молекулярно-лучевая эпитаксия (МВЕ) – это послойный рост пленки на образце материала на уровне атомного слоя в сверх-высоком вакууме. Преимуществом такого метода осаждения материала на поверхности образца является высокая контролируемость процесса роста. Наносить эпитаксиальные пленки в вакууме возможно несколькими методами – МВЕ, PLD, CVD, PVD. Но часть этих методов имеет некоторые ограничения и для создания высококачественных эпитаксиальных структур наиболее часто используют процесс называемый Молекулярно-лучевая (или Молекулярно-пучковая ) эпитаксия.
Компания Криосистемы работает с двумя производителями оборудования для Молекулярно-лучевой эпитаксии:
На нашей базе создан сервис-центр по внедрению и обслуживанию поставляемого оборудования, обучению дилеров и пользователей.
Основные выпускаемые системы и технологии:
- Молекулярно-лучевая эпитаксия MBE
- Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
- Атомно-слоевое осаждение ALD Systems
- Металл-органического газо-фазного осаждения MOCVD
- Установки для расщепления пластин и пассивации граней
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Эффузионные источники
- Вентильные источники материалов
- Электронно-лучевые источники
- Нагреватели подложек
- Манипуляторы подложек
- Газовые инжекторы
- Источники атомарных потоков для О2, Н2, N2
- Источники плазмы
- Системы подачи озона
Средства и модули характеризации пленок:
- Атомно-абсорбционные спектрометры
- RHEED - Дифракция быстрых электронов на отражение
- Пирометры
- Катодолюминесценция
Основная область деятельности компании AdNaNoTek:
- Молекулярно – лучевая эпитаксия MBE
- Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
- Комбинированные UHV системы Integated Systems
- Системы физического паро-осаждения PVD Системы
Основные выпускаемые системы:
- Laser MBE Pro (PLD-18)
- Compact Laser MBE
- MBE-10
- IBSD распыления материалов ионным пучком и осаждения его на подложку
- Система осаждения
- Электронно-лучевая система осаждения пленок
Комбинированные системы:
-
MBE - PLD – SPUTTER (Молекулярно-пучковая эпитаксия – Лазерная абляция)
-
IBSD – PLD (Осаждение при распылении ионным пучком и лазерная абляция)