+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru

Задача Заказчика:

Термическое нанесение покрытий хрома в вакууме.

 

Решение, предложенное Заказчику:

Установка термического испарения хрома модели TES-160, производства нашей компании

 

Краткая спецификация установки

Вакуумная камера объемом примерно 35 литров с передним  окном наблюдения
Подложкодерждатель с изменяемым расстоянием подложка-источник и вращением

Нагрев подложкодержателя до 300-350°С
Два источника термического испарения металлов.

Заслонка для источников термического испарения
Блок питания источника.
Турбомолекулярный насос HiPace 80.

 

Фото установки

Подложкодержатель с нагревом ИК-лампами с обратной стороны

 

Источники испарения

 

Ввод в эксплуатацию установки TES-160

^ В НАЧАЛО