Задача Заказчика:

Заказчику требовался инструмент для характеризации тонких пленок карбидов кремния и кремнийсодержащих пленок, образцов сапфира и других материалов и соединений. Ставилась задача обнаружение примесей разных элементов на поверхности образцов.

Решение, предложенное Заказчику:

Стационарный время-пролетный масс-спектрометр от известного производителя английской компании Kore technology.

Краткая характеристика предложенного инструмента:

• Анализ проводников и диэлектриков
• Анализ положительных и отрицательных вторичных ионов
• Разрешение лучше чем 2000 M/ΔM (возможно до 3000 )
• Диапазон исследуемых масс >1000m/z
• Возможность распыления образца для очистки поверхности

Фотографии прибора: