Задача Заказчика:
Недорогая установка для осаждения металлических тонких пленок с электронно-лучевым источником.
Решение, предложенное Заказчику:
Установка серии MiniLab 080 компании Moorfield
Краткая спецификация установки:
| Камера | С полнооткрываемой передней дверью, D-формы |
| Источники | Электронно-лучевой источник – 1 шт, Telemark 247-64 |
| Контроль за процессом |
Кварцевый контроллер типа SQC 310 Один водоохлаждаемый кварцевый датчик |
| Откачка | Турбомолекулярный насос, 400 л/с, типа Leybold 361 |
| Временная точность | Форвакуумный насос производительностью 11,3 м3/ч |
