Задача Заказчика:
Установка травления ионным пучком алюминия и других металлов, травления подложек из ниобата лития и других для создания ПАВ-устройств.
Решение, предложенное Заказчику:
Заказчик получил в свое пользование установку модели Alpha 120 компании Nordiko с ВЧ-источником ионного пучка для травления подложек диаметром до 150 мм с загрузочной камерой и подачей подложек по одной без вскрытия на атмосферу.
|
|
|
|
| Манипулятор подложек с водяным охлаждением и учетом особенностей пластин из ниобата лития | Внешний вид установки | Установка в процессе сборки |
Краткая спецификация установки:
- Камера из нержавеющей стали цилиндрической формы
- Загрузочные алюминиевые двери
- Форвакуумный насос сухого типа компании Kashiyama (15 м3/час)
- Турбомолекулярный высоковакуумный насос на магнитной подвеске компании Shimadzy (1000 л/c)
- Водяное охлаждение столика для подложек
- Вращение столика подложек до 5 об/мин
- Возможность ручного регулирования угла наклона столика подложек относительно Ионного источника от 0 до 90°
- Датчик вакуума с холодным катодом (инвертированный)
- ВЧ Ионный источник диаметром 15 см
- Трансформаторная система согласования импеданса с автоматической подстройкой
- Макс. Энергия ионного пучка – 600 Вт
- ВЧ Генератор 300 Вт, 13.56 МГц
- Нейтрализатор без накального катода, 250 мА
- Два канала подачи рабочих газов
- Дополнительная линия подачи газа для нейтрализатора ионного пучка
- Загрузочная камера с магнитным манипулятором (Load Lock)
- Автоматическое управление установкой
