Задача Заказчика:

Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок для осаждения материалов термическими методами в высоком вакууме.

Решение, предложенное Заказчику:

Установка модели TFDS-462B изготовленная израильской компанией VST. Установка имеет в составе электронно-лучевой испаритель на 6 карманов, ионную пушку и резистивный испаритель. Откачка полностью сухая и состоит из криогенного насоса и спирального насоса японской компании Anest Iwata.

Фотографии поставленной установки: