Задача Заказчика:
Недорогая установка газо-фазного осаждения для синтеза графена.
Решение, предложенное Заказчику:
Заказчик получил в свое пользование CVD-установку для синтеза графена модели EasyTube 101 от компании CVD Equipment Corp (Firstnano).
|
|
|
|
|
Установка может работать с образцами 25 х 50 мм и на ней можно получать одно-и многослойные графеновые пленки, также на ней можно провести осаждение графена на расплаве металла.
Краткая спецификация установки:
| Камера: | Горизонтальный кварцевый реактор |
| Источники: | Газовые линии, рабочий газ - метан |
| Контроль за процессом: | Автоматический контроль температуры, давления, скорости потоков газов и др. |
| Процессы: | При атмосферном и пониженном давлении в реакторе |
| Подложки: | 25х50 мм |
| Печь: | Трехзонная резистивная с функцией быстрого остывания |
На данной установке были выращены образцы углеродных нанотрубок и переданы нам для характеризации. После анализа образцов выяснилось, что массив углеродных нанотрубок имеет высоту около 2-х мм и диаметр нанотрубок около 20-30 нм. Фото приложены ниже:
