Задача Заказчика:

Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок в сверх-высоком вакууме при применении ИК-лазера для распыления мишеней различных материалов и UHV.

Решение, предложенное Заказчику:

Установка PLD изготовленная американской компанией SVTA. Установка имеет в своем составе манипулятор мишеней на 6 позиций с вращением и индексацией всех мишеней, манипулятор подложек для работы с образцами до 25 мм в диаметре, их вращением и нагревом до 850°С в атмосфере кислорода, оптику ввода лазерного излучения, загрузочную камеру с доковой станцией на 4 подложки и 4 мишени, вакуумную систему откачки на основе турбомолекулярного вакуумного насоса, высоковакуумный для мишеней 25 мм в диаметре и ВЧ-блок питания. Особенностью и хорошей «фишкей» установки является наличие полнооткрываемой вакуумной двери на переднем торце вакуумной камеры, что позволяет осуществлять полный доступ ко всем внутренним компонентам камеры и в то же время поддерживать в камере глубокий вакуум до 5 х 10-9 Торра и наличие запасного вакуумного порта для ввода излучения второго лазера.

Фото установки: