Задача Заказчика:

MOCVD-установка газо-фазного осаждения американской компании Firstnano для изучения процессов осаждения разных пленок, в том числе защитных покрытий, пленок тантала и других структур.

Решение, предложенное Заказчику:

Для MOCVD установки наряду с 5-ю входными газовыми линиями заказчику была предложена дополнительная газовая линия с подогревом для подачи метал-органического прекурсора  из испарителя-барботера. В самом кварцевом реакторе было предложено установить два кварцевых тигля со сменными лайнерами и нагревом до 400°С для получения паров твердых материалов (кадмия, цинка и др.). Установка имеет как резистивную 3-х зонную печь с нагревом образцов до температуры 1100 °С, так и источник ВЧ-плазмы.

Схема подачи разных прекурсоров в камеру-реактор установки показана ниже.

Схема реактора установки:

Внешний вид установки и скруббера:

Источники паров материалов из твердой фазы:

Источник ВЧ-плазмы:

Идет обучение сотрудников заказчика:

Трехзонная резистивная печь и модуль ВЧ-плазмы:

Скруббер:

Краткая спецификация установки ET3000EXT согласно Технической Спецификации TS-3641:

• Кварцевый реактор и полный набор кварцевых компонентов и уплотнений способных работать с 1 (одной) подложкой диаметром до 2'' (50 мм).
• Устройство резистивного нагрева подложек:
• 3-х зонная резистивная печь.
• Температура нагрева образцов до 1200°С.
• Система управления температурой.
• Блок удаленной ВЧ-плазмы:
• Мощность 300 Вт, 13,56 МГц.
• ВЧ Генератор и устройство согласования нагрузки.
• Восемь входных газовых линии, с индивидуальным контролем потока каждой линии посредством РРГ.
• Статический миксер газов – для оптимального смешивания разных газов.
• Система доставки паров металл-органического прекурсора при пониженном давлении в реакторе.
• Система подачи паров от твердотельных источников (2 шт).
• Детектор обнаружения легковоспламеняющихся газов.
• Загрузочная камера (изолирует процессный реактор от атмосферы во время загрузки/выгрузки). Откачка загрузочной камеры до давления < 100 мТорр.
• Интегрированная система для создания пониженного давления в кварцевом реакторе в процессе осаждения и автоматического контроля всех процессов при пониженном давлении:
• Включен сухой вакуумный насос.
• Управление давлением от 200 мТорр до 500 Торр.
• Вакуумный датчик емкостного типа.
• Байпасная линия с клапаном для работы при атмосферном давлении.
• Компьютерная система управления:
• Управляющее п/о.
• Система безопасности с блокировками.
• Удаленный доступ через И-нет.
• Полная встроенная система безопасности.