Задача Заказчика:

Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок атомно-слоевым осаждением при термическом разложении прекурсоров и одновременно требовалась транспортировка подложек в ALD-установку из UHV-вакуумной камеры через масс-спектрометр в едином вакуумном цикле.

Решение, предложенное Заказчику:

Установка ALD  изготовленная американской  компанией SVTA. Установка построена по классической схеме: внешняя вакуумная камера и внутренняя процессная камера с небольшим объемом и термическим нагревом смеси проходящих через нее газов. Подложки передаются из загрузочной камеры PLD минуя масс-спектрометр магнитным линейным манипулятором.

Фотографии ALD-установки:

Весь кластер установок приобрел законченный на сегодняшний момент вид: