Установка CVD для "Института Реакторных материалов" (Корпорация Росатом)
Задача Заказчика:
Получение углеродных нанотрубок при использовании как газообразных, так и жидких источников углерода - метанола, бензола и др.
Установка PVD UHV в КНЦ СО РАН
Задача Заказчика:
Сверхвысоковакуумная установка для осаждения многослойных пленок разных материалов с упором на исследование так называемых MAX-фаз, нового класса материалов с потенциально новыми свойствами
Ионный Имплантер IMC-200 для НПП "Салют" (Нижний Новгород)
Задача Заказчика:
Запуск в 2019 установки ионной имплантации модели IMC-200
Установка CVD для ИНМЭ РАН
Задача Заказчика:
Синтез нанотрубок и других углеродных структур из газовой фазы методом термического разложения поступающих газов
Запуск в мае 2019 г установки в ФИАне
Задача Заказчика:
Термическое нанесение покрытий хрома в вакууме.
Пуско-наладка время-пролетного масс-спектрометра в Институте Ядерной Физики г.Новосибирска
Задача Заказчика:
Время-пролетный масс-спектрометр для исследования поверхности различных образцов материалов (Static SIMS) и возможностью профилирования образца по глубине (Dynamic SIMS)
Установка термического осаждения в компании Профотек (г.Москва)
Задача Заказчика:
Установка термического осаждения металлов на торцы оптоволокна в рамках ограниченного бюджета.
Установка термического осаждения в БГПУ им.М.Акмуллы (г.Уфа)
Задача Заказчика:
Установка термического осаждения пленок в рамках очень ограниченного бюджета.
CVD-система компании PlanarTech в НИТУ МИСИС
Задача Заказчика:
Заказчику требовалась CVD-установка газо-фазного осаждения с большой степенью автоматизации для изучения процессов осаждения в превую очередь графена, а также других углеродных структур – углеродных нанотрубок и др.
MOCVD-установка модели EasyTube 3000 компании Firstnano для Института общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова Российской академии наук
Задача Заказчика:
MOCVD установка для изучения осаждения защитных металлических пленок на сложные поверхности.
MBE-PLD-установка американской компании SVTA для Национального исследовательского Иркутского ГТУ (НИ ИрГТУ)
Задача Заказчика:
Высоковакуумная установка для исследовательских задач осаждения тонких пленок различными методами: испарением мишеней лазером, испарением материалов из эффузионных ячеек, распылением мишеней с UHV, испарением материалов из электронно-лучевого источника.
CVD-установка модели PlanarGrow 2S компании PlanarTech для МЭИ, Москва
Задача Заказчика:
Установка для роста Графена и других углеродных наноструктур.
CVD-установка модели EasyTube 3000 компании Firstnano для Северо-Кавказского Федерального Университета, Ставрополь
Задача Заказчика:
CVD-установка с нагревом образцов до 1500°С для синтеза структур карбида кремния.
CVD-установка модели EasyTube 101 компании Firstnano для Рижского Университета, Рига, Латвия
Задача Заказчика:
Недорогая установка для Установка для роста Графена и углеродных нанотрубок.
Установка модели Alpha 120 компании Nordiko
Задача Заказчика:
Установка травления ионным пучком алюминия и других металлов, травления подложек из ниобата лития и других для создания ПАВ-устройств.
Установка серии MiniLab 080 компании Moorfield
Задача Заказчика:
Недорогая установка для осаждения металлических тонких пленок с электронно-лучевым источником.
Установка модели 7500 компании Nordiko
Задача Заказчика:
Установка травления ионным пучком специальных пленок многокомпонентного состава, различных подложек для создания «специальных» изделий.
PLD-установка (лазерной абляции) для осаждения тонких пленок
Задача Заказчика:
Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок в сверх-высоком вакууме при применении ИК-лазера для распыления мишеней различных материалов и UHV.
Времяпролетный масс-спектрометр для характеризации источника плазмы по теме создания экспериментального реактора проекта ITER
Задача Заказчика:
Заказчик создал экспериментальный источник плазмы для исследования влияния плазмы на зеркальные поверхности создаваемого экспериментального реактора проекта ITER и ему требовалось проанализировать наличие и момент появления высокоэнергетичных ионов из источника.
Времяпролетный масс-спектрометр для характеризации тонких пленок на поверхности проводящих и непроводящих твердых образцов
Задача Заказчика:
Заказчику требовался инструмент для характеризации тонких пленок карбидов кремния и кремнийсодержащих пленок, образцов сапфира и других материалов и соединений. Ставилась задача обнаружение примесей разных элементов на поверхности образцов.
Установка электронно-лучевого осаждения тонких пленок для Нижегородского Государственного Технического Университета им Р.Е. Алексеева
Задача Заказчика:
Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок для исследования высоко-температурных сверх-проводников. Ставилась задача напыления пленок на образца как с их нагревом в вакууме, так и охлаждением до температуры – 30° С.
Установка для осаждения резистивных пленок на подложках из поликора размерами 48х60 мм на установке TFSP-840
Задача Заказчика:
Заказчику требовалась установка для мелкосерийного осаждения резистивных пленок на подложки из поликора размерами 48х60 мм методами распыления материалов типа NiCr, РС-3710 и др.
Времяпролетный масс-спектрометр для характеризации тонких пленок на поверхности проводящих и непроводящих твердых образцов
Задача Заказчика:
Заказчику требовался инструмент для характеризации тонких металлов, диэлектриков осаждаемых методом испарения мишеней материалов лазером в установке лазерной абляции.
ALD-установка для осаждения тонких пленок диэлектриков методом атомно-слоевого осаждения
Задача Заказчика:
Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок атомно-слоевым осаждением при термическом разложении прекурсоров и одновременно требовалась транспортировка подложек в ALD-установку из UHV-вакуумной камеры через масс-спектрометр в едином вакуумном цикле.
Установка электронно-лучевого и резистивного осаждения тонких пленок для МИЭТа, Зеленоград
Задача Заказчика:
Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок для осаждения материалов термическими методами в высоком вакууме.
Установка электронно-лучевого осаждения тонких пленок для создания пленок снизкотемпературныз сверхпроводников для ИФТТ
Задача Заказчика:
Заказчик имел у себя высоковакуумную камеру и принял решение в целях экономии заказать у нас все оставшиеся компоненты для создания своими силами полноценного рабочего кластера для осаждения сверхпроводящих пленок различными методами в сверхвысоком вакууме.
Ионный имплантер на средних токах и энергии до 200 кэВ для ЗНТЦ, Зеленоград
Задача Заказчика:
Заказчику для завершения создания полного цикла создания изделий электронной техники требовался ионный имплантер. Заказчику был предложен и поставлен Ионный имплантер модели IMC-200 от нашего партнера французской компании IBS.
Установка для осаждения тонких пленок в вакууме для Пермского Государственного Университета
Задача Заказчика:
Недорогая установка под ключ для нанесения тонких пленок в вакууме с широкими возможностями в области использования разных источников, включая возможность нанесения органических материалов.