SAMCO Сайт компании: www.samcointl.com

Японская компания SAMCO была основаня в 1979 году и именовалась как Semiconductor And Materials COmpany (SAMCO). . Выросшая букавально из гаража в пригороде Киото сейчас SAMCO имеет оборот более 60 млн долларов и штат около 150 высококлассных специалистов. Штаб-квартира компании находится в Киото, отделения компании в Токио, Токае, Цанагаве, Цукубе и исследовательский офис в Калифорнии.

Компания является пионером в таких областях как PECVD, CVD с жидкими источниками, MOCVD, DLC, травление. Очистка плазмой и УФ/озоном. SAMCO заработала твердую репутацию как компания которая "sharpens the cutting edge" быстро развивая и совершенствуя процессы/оборудование через тесное партнерство со своими заказчиками.

Продуктовая линейка компании включает в себя следующее оборудование и системы:

• RIE
• ICP RIE
• DRIE
• Dry Etching (XeF2)
• CVD (APCVD и LPCVD)
• PECVD
• MOCVD
• LS-CVD
• Plasma Cleaning
• UV/Ozone Cleaning

Основные системы и установки:

• Травление RIE
• Травление ICP RIE
• Бош-травление (DRIE)
• XеF2-травление
• MOCVD
• PECVD
• LS-CVD
• Очистка плазмой
• Очистка УФ/озоном

Дополнительная информация:

• Технологии: Травление
• Технологии: CVD
• Технологии: Очистка (плазма и УФ)
• Элементы CVD-систем
• Расходные материалы