+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


UV-1,UV-2SAMCO

Компактные настольные установки для очистки ультрафиолетом и озоном


Применения:


Удаление органических загрязнений, предварительная очистка пластин перед напылением/осаждением и эпитаксиальным наращиванием, счистка фоторезиста и полиимида, модификация поверхности для улучшения адгезии, финальная очистка перед соединением подложек, увеличение охвата смазки на магнитных дисках, вулканизация УФ, выращивание тонких стабильных оксидных пленок, очистка AFM кантилеверов.

 

 

Технические характеристики:


uv-1

UV-1

  • Для различных образцов и подложек размером до 6”
  • Простое, интуитивно-понятное управление
  • Контроль температуры (от температуры окружающей среды до +300°C)
  • Полностью сухой процесс позволяет избежать повреждения/пробоя микросхем
  • Работа при атмосферном давлении: не требуется система откачки
  • Система блокировки крышки
  • Модуль деструкции озона ("ozone killer")
  • Габариты (ДхШхВ): 450х400х440 мм

 

 

uv-2

UV-2

 

  • Для различных образцов и подложек размером до 8”
  • Прогреваемая платформа для увеличения скорости процесса
  • Широкий диапазон рабочих температур (от температуры окружающей среды до +300°C)
  • Полностью сухой процесс позволяет избежать повреждения/пробоя микросхем
  • Работа при атмосферном давлении: не требуется система откачки
  • Система блокировки выдвижной системы загрузки гарантирует нерабочее состояние системы, если он открыт
  • Автоматическая очистка рабочей камеры после процесса
  • Модуль катализатора озона ("ozone killer")
  • Герметизация камеры во время рабочего процесса предотвращает попадание загрязнений из атмосферного воздуха
  • Габариты (ДхШхВ): 610x572x426 мм

 

 


Брошюра UV-1 на английском языке: SAMCO(UV-1).pdf

Брошюра UV-2 на английском языке: SAMCO(UV-2).pdf

Презентация систем очистки UV1/UV2 на английском языке: SAMCO_UVOZONE.pdf


Основные системы и установки:



samco_2.pngsamco_3.pngsamco_4.pngsamco_5.png

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО