UV-1,UV-2SAMCO
Компактные настольные установки для очистки ультрафиолетом и озоном
Применения:
Удаление органических загрязнений, предварительная очистка пластин перед напылением/осаждением и эпитаксиальным наращиванием, счистка фоторезиста и полиимида, модификация поверхности для улучшения адгезии, финальная очистка перед соединением подложек, увеличение охвата смазки на магнитных дисках, вулканизация УФ, выращивание тонких стабильных оксидных пленок, очистка AFM кантилеверов.
Технические характеристики:
UV-1
- Для различных образцов и подложек размером до 6”
- Простое, интуитивно-понятное управление
- Контроль температуры (от температуры окружающей среды до +300°C)
- Полностью сухой процесс позволяет избежать повреждения/пробоя микросхем
- Работа при атмосферном давлении: не требуется система откачки
- Система блокировки крышки
- Модуль деструкции озона ("ozone killer")
- Габариты (ДхШхВ): 450х400х440 мм
UV-2
- Для различных образцов и подложек размером до 8”
- Прогреваемая платформа для увеличения скорости процесса
- Широкий диапазон рабочих температур (от температуры окружающей среды до +300°C)
- Полностью сухой процесс позволяет избежать повреждения/пробоя микросхем
- Работа при атмосферном давлении: не требуется система откачки
- Система блокировки выдвижной системы загрузки гарантирует нерабочее состояние системы, если он открыт
- Автоматическая очистка рабочей камеры после процесса
- Модуль катализатора озона ("ozone killer")
- Герметизация камеры во время рабочего процесса предотвращает попадание загрязнений из атмосферного воздуха
- Габариты (ДхШхВ): 610x572x426 мм
Брошюра UV-1 на английском языке: SAMCO(UV-1).pdf
Брошюра UV-2 на английском языке: SAMCO(UV-2).pdf
Презентация систем очистки UV1/UV2 на английском языке: SAMCO_UVOZONE.pdf
Основные системы и установки:
- Травление RIE
- Травление ICP RIE
- Бош-травление (DRIE)
- XеF2-травление
- MOCVD
- PECVD
- LS-CVD
- Очистка плазмой
- Очистка УФ/озоном
Дополнительная информация:
- Технологии: Травление
- Технологии: CVD
- Технологии: Очистка (плазма и УФ)
- Элементы CVD-систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.