+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


Системы очистки поверхности (УФ/Озон).NOVASCAN

PSD-UV, PSDP-UVи PSDP-UVT – компактные настольные установки для очистки ультрафиолетом и озоном.


novascan_uv_ozone

Применения:


Удаление органических загрязнений, предварительная очистка пластин перед напылением/осаждением и эпитаксиальным наращиванием, счистка фоторезиста и полиимида, модификация поверхности для улучшения адгезии, финальная очистка перед соединением подложек, увеличение охвата смазки на магнитных дисках, вулканизация УФ, выращивание тонких стабильных оксидных пленок, очистка AFM кантилеверов.

 

 

Технические характеристики:


Подложки Регулировка высоты образца
УФ излучение УФ лампа с отражателем, различные размеры
УФ отражатель На 1” больше размера лампы
Газовые линии Стандартно - 2, опционально – дополнительные (для PSD-UV3 - опционально)
Вакуумная камера Опционально, алюминиевая или кварцевая
Нагрев подложек До 150°C (стандартно для PSDP-UVT и опционально для PSDP)
Система защиты Отключение УФ лампы при открытой камере
Нейтрализация озона и откачка Опционально для PSD и PSDP

 

 


Брошюра на английском языке: PSD_PSDP_Series.pdf


Основные системы и установки:



samco_2.pngsamco_3.pngsamco_4.pngsamco_5.png

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО