Системы очистки поверхности (УФ/Озон).NOVASCAN
PSD-UV, PSDP-UVи PSDP-UVT – компактные настольные установки для очистки ультрафиолетом и озоном.
Применения:
Удаление органических загрязнений, предварительная очистка пластин перед напылением/осаждением и эпитаксиальным наращиванием, счистка фоторезиста и полиимида, модификация поверхности для улучшения адгезии, финальная очистка перед соединением подложек, увеличение охвата смазки на магнитных дисках, вулканизация УФ, выращивание тонких стабильных оксидных пленок, очистка AFM кантилеверов.
Технические характеристики:
| Подложки | Регулировка высоты образца |
| УФ излучение | УФ лампа с отражателем, различные размеры |
| УФ отражатель | На 1” больше размера лампы |
| Газовые линии | Стандартно - 2, опционально – дополнительные (для PSD-UV3 - опционально) |
| Вакуумная камера | Опционально, алюминиевая или кварцевая |
| Нагрев подложек | До 150°C (стандартно для PSDP-UVT и опционально для PSDP) |
| Система защиты | Отключение УФ лампы при открытой камере |
| Нейтрализация озона и откачка | Опционально для PSD и PSDP |
Брошюра на английском языке: PSD_PSDP_Series.pdf
Основные системы и установки:
- Травление RIE
- Травление ICP RIE
- Бош-травление (DRIE)
- XеF2-травление
- MOCVD
- PECVD
- LS-CVD
- Очистка плазмой
- Очистка УФ/озоном
Дополнительная информация:
- Технологии: Травление
- Технологии: CVD
- Технологии: Очистка (плазма и УФ)
- Элементы CVD-систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
