TFSP-840VST
Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов
Область применения:
TFSP-840 – установка для осаждения тонких пленок методом распыления. Применение: обучение, исследования и разработки, производство мелких и средних партий продукции.
Техническая спецификация:
Вакуумная камера | Прямоугольного типа из нержавеющей стали с полно-открываемой передней дверью и портом наблюдения на двери диаметром 100 мм |
Система откачки | Турбомолекулярный или криогенный вакуумный насос, сухой спиральный или пластинчато-роторный форвакуумные насосы |
Подложко-держатель | Вращаемый для подложек до 150 мм в диаметре |
Источники | Один или несколько |
Режим работы | ВЧ, ПТ или импульсный ПТ |
Газовые линии | 1-4 канала с РРГ и запорными клапанами (конструкция клапанов с сильфонным уплотнением) |
Опциональная спецификация:
- Сеточный/бессеточный ионный источник
- Рабочая камера D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др.
- Изолированный подложкодержатель для возможности травления или очистки
- Контроллер скорости и толщины осаждения с кварцевыми датчиками
- Датчик измерения резистивности пленок и контроллер
- Загрузочная камера для подачи подложек диаметром 75 мм
- Нагрев кварцевыми лампами
- Перестраиваемый по высоте привод подложкодержателя
- Шаговое позиционирование подложкодержателя
Особенности:
- Качество и надежность при доступной цене
- Компактная конструкция, небольшая занимаемая площадь
- Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика
- Большое количество опций, в т. ч. загрузочные камеры разных модификаций, ручная или автоматическая загрузка
- Большой выбор опций катодов распыления, включая широкий ряд источников питания
Брошюра на англ. языке: TFSP_840_Engl.pdf
Брошюра на русском языке: TFSP_840_VST.pdf
Основные системы и установки компании VST:
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Термическое испарение
- Магнетронное распыление
- Электронно-лучевое испарение
- Вакуумные печи
- Вакуумные плавильные установки
- Вакуумные тестовые камеры
- Элементы вакуумных систем
Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:
- Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
- Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
- Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.