+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


TFSP-840VST

Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов


tfds 840

 

Область применения:


TFSP-840 – установка для осаждения тонких пленок методом распыления. Применение: обучение, исследования и разработки, производство мелких и средних партий продукции.

Техническая спецификация:


Вакуумная камера Прямоугольного типа из нержавеющей стали с полно-открываемой передней дверью и портом наблюдения на двери диаметром 100 мм
Система откачки Турбомолекулярный или криогенный вакуумный насос, сухой спиральный или пластинчато-роторный форвакуумные насосы
Подложко-держатель Вращаемый для подложек до 150 мм в диаметре
Источники Один или несколько
Режим работы ВЧ, ПТ или импульсный ПТ
Газовые линии 1-4 канала с РРГ и запорными клапанами (конструкция клапанов с сильфонным уплотнением)

Опциональная спецификация:


  • Сеточный/бессеточный ионный источник
  • Рабочая камера D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др.
  • Изолированный подложкодержатель для возможности травления или очистки
  • Контроллер скорости и толщины осаждения с кварцевыми датчиками
  • Датчик измерения резистивности пленок и контроллер
  • Загрузочная камера для подачи подложек диаметром 75 мм
  • Нагрев кварцевыми лампами
  • Перестраиваемый по высоте привод подложкодержателя
  • Шаговое позиционирование подложкодержателя

Особенности:


  • Качество и надежность при доступной цене
  • Компактная конструкция, небольшая занимаемая площадь
  • Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика
  • Большое количество опций, в т. ч. загрузочные камеры разных модификаций, ручная или автоматическая загрузка
  • Большой выбор опций катодов распыления, включая широкий ряд источников питания

 

tfds 840 tfds 840 tfds 840


Брошюра на англ. языке: TFSP_840_Engl.pdf

Брошюра на русском языке: TFSP_840_VST.pdf


Основные системы и установки компании VST:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Термическое испарение
  • Магнетронное распыление
  • Электронно-лучевое испарение
  • Вакуумные печи
  • Вакуумные плавильные установки
  • Вакуумные тестовые камеры
  • Элементы вакуумных систем

Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:


  • Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
  • Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
  • Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B

Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО