TFDS-663VST
Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов
Область применения:
Установка с двумя параллельными вакуумными камерами и единой системой откачки. Предназначена для производственных применений, где требуется высокая производительность и небольшой бюджет.
Техническая спецификация:
Базовое давление: | 2Х10-7 Торр |
Среднее время откачки: | 90 минут (откачка сухого N2) |
Насосы: | Крионасос, механический масляный пластинчато-роторный насос |
Ловушка: | Окись алюминия |
Камера: | Охлаждаемая водой, внутренний диаметр 18”, высота 20”, нержавеющая сталь |
Смотровые окна: | Два смотровых окна, внутренний диаметр 4”, с заслонками |
Нижняя пластина: | Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь |
Верхняя пластина: | Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь |
Клапаны: | Электро-пневматические, нержавеющая сталь |
Мишени электронно-лучевой пушки: | 4Х7 куб. см |
Электропитание электронно-лучевой пушки: | 6 кВт |
Тлеющий разряд: | Переменный ток, самоограниченный блок питания |
Нагреватель: | Кварцевые лампы 1,4 кВт |
Датчики: | Ионный датчик; термопарный датчик; Пирани |
Контроль толщины: | Maxtek 100 |
Управление: | Встроенный ПЛК |
Стойка: | Алюминиевые профили |
Подъемники (нижняя и верхняя пластины): | Электрические подъемники с приводом от ходового винта, с вакуумной блокировкой, с верхними и нижними концевыми выключателями |
Особенности:
- Лучшее сочетание цены и возможностей для промышленной установки с малыми габаритами
- Две параллельные технологические камеры с одной откачивающей системой
- Программа изоляции вакуумной установки
- Установка полностью автоматизирована с помощью ПЛК
- Верхние и нижние пластины могут быть подняты и повернуты для облегчения загрузки
- Источник электронно-лучевого испарения, подходящий для TiO2, Ni, Cr, Co, SiO2, HfO2, MgF2, Au, Pt, Ta, Al2O3
Основные системы и установки компании VST:
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Термическое испарение
- Магнетронное распыление
- Электронно-лучевое испарение
- Вакуумные печи
- Вакуумные плавильные установки
- Вакуумные тестовые камеры
- Элементы вакуумных систем
Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:
- Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
- Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
- Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.