TFDS-462VST
Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов
Область применения:
TFDS-462B – установка для осаждения практически любых тонких пленок методами термического испарения, с возможностью дооснащения различными опциями и непревзойденным соотношением цена/возможности. В качестве источников в камере можно использовать термические источники, электронно-лучевую пушку, ионный источник. Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.
Техническая спецификация:
Рабочая камера | Рабочая камера из нержавеющей стали, водоохлаждаемая, с фронтальной дверью на петлях, со смотровыми окнами. Возможные типы: прямоугольная, D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др. Дополнительные порты для будущего оснащения камеры. Легкосъемные экраны от запыления на стенках и двери. |
Электронно-лучевое испарение | Электронно-лучевая пушка. Имеет специальную конструкцию для предотвращения взаимного загрязнения материалами из разных тигелей между собой. Автоматическая индексация тигелей/карманов. Заслонка с пневмоприводом. |
Термическое испарение | До 4-х термических источников. |
Подложки | Номинальный диаметр – до 152 мм. Возможность вращения и вертикального перемещения. Устройство нагрева подложек до температуры 1500 С. Любой тип крепления. Измерение толщины пленок в процессе. |
Особенности:
- Высокое качество и надежность
- Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика.
- Ионный источник для очистки поверхности подложек перед напылением (опция).
- Система откачки: стандартно - криогенный и безмасляный спиральный насосы. Возможны варианты.
- Небольшая камера позволяет быстро откачивать установку, выходить на рабочий режим и осуществлять несколько циклов загрузки/выгрузки в течение дня.
- Для более быстрой смены подложек и материалов и при высоких требованиях к чистоте процесса установку можно дооснастить двумя загрузочными камерами.
- Опции: перемещение пластин в/из шлюза, охлаждение, наклон и др.
Модификации серии TFDS-462:
TFDS-462T с камерой колпакового типа из стали или "пирекса"
Брошюра на английском языке: TFDS_462_Engl.pdf
Основные системы и установки компании VST:
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Термическое испарение
- Магнетронное распыление
- Электронно-лучевое испарение
- Вакуумные печи
- Вакуумные плавильные установки
- Вакуумные тестовые камеры
- Элементы вакуумных систем
Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:
- Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
- Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
- Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.