+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


TFDS-462VST

Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов


tfds 462 tfds 462

 

Область применения:


TFDS-462B – установка для осаждения практически любых тонких пленок методами термического испарения, с возможностью дооснащения различными опциями и непревзойденным соотношением цена/возможности. В качестве источников в камере можно использовать термические источники, электронно-лучевую пушку, ионный источник. Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.

Техническая спецификация:


Рабочая камера Рабочая камера из нержавеющей стали, водоохлаждаемая, с фронтальной дверью на петлях, со смотровыми окнами. Возможные типы: прямоугольная, D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др. Дополнительные порты для будущего оснащения камеры. Легкосъемные экраны от запыления на стенках и двери.
Электронно-лучевое испарение Электронно-лучевая пушка. Имеет специальную конструкцию для предотвращения взаимного загрязнения материалами из разных тигелей между собой. Автоматическая индексация тигелей/карманов. Заслонка с пневмоприводом.
Термическое испарение До 4-х термических источников.
Подложки Номинальный диаметр – до 152 мм. Возможность вращения и вертикального перемещения. Устройство нагрева подложек до температуры 1500 С. Любой тип крепления. Измерение толщины пленок в процессе.

Особенности:


  • Высокое качество и надежность
  • Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика.
  • Ионный источник  для очистки поверхности подложек перед напылением (опция).
  • Система откачки: стандартно - криогенный и безмасляный спиральный насосы. Возможны варианты.
  • Небольшая камера позволяет быстро откачивать установку, выходить на рабочий режим и осуществлять несколько циклов загрузки/выгрузки в течение дня.
  • Для более быстрой смены подложек и материалов и при высоких требованиях к чистоте процесса установку можно дооснастить двумя загрузочными камерами.
  • Опции: перемещение пластин в/из шлюза, охлаждение, наклон и др.

Модификации серии TFDS-462:


TFDS-462T с камерой колпакового типа из стали или "пирекса"

tfds 462t


Брошюра на английском языке: TFDS_462_Engl.pdf


Основные системы и установки компании VST:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Термическое испарение
  • Магнетронное распыление
  • Электронно-лучевое испарение
  • Вакуумные печи
  • Вакуумные плавильные установки
  • Вакуумные тестовые камеры
  • Элементы вакуумных систем

Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:


  • Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
  • Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
  • Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B

Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО