+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


TFDS-141VST

Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов


tfds 141 tfds 141 tfds 141

 

Область применения:


Универсальная установка с боксовой камерой. Может быть оснащена практически любыми источниками осаждения и вспомогательными устройствами, такими как электронно-лучевая пушка, источники термического испарения, распыления, ионная пушка, тлеющий разряд, масс-спектрометр, оптический монитор, лазерный детектор конечной точки, интерферометр, эллипсометр, и др.

Техническая спецификация:


Прямоугольная камера из нержавеющей стали с трубами водяного охлаждения и 4” смотровыми окнами, высокопроизводительная автоматическая откачная система, ПЛК контроллер и различные держатели подложек, включая фиксированный охлаждаемый держатель, вращающийся и планетарный держатель с фиксированным или регулируемым углом.

Модель TFDS 141-K:


tfds 141-k

  • Компактная высоковакуумная установка для нанесения высококачественных оптических покрытий
  • Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали
  • Шесть пластинок для подложек диаметром 150 мм с регулируемым углом
  • Нагреватель подложек - 4 кВт кварцевые лампы (4Х1000 Вт)
  • Электронно-лучевая пушка с испарителем на 4Х40 куб. см
  • Два источника термического испарения 1000А
  • Полностью автоматический контроллер осаждения
  • Библиотека материалов и процессов
  • Шесть держателей кварцевых датчиков толщины

Модель TFDS 141-T:


  • Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных стекол и пластиков
  • Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали
  • Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт)
  • Четыре источника термического испарения
  • Полностью автоматизированный контроллер осаждения
  • Библиотека материалов и процессов
  • Осаждение с ассистированием ионным лучом

Модель TFDS 141-E:


  • Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для малогабаритных полупроводниковых заготовок
  • Восемь плоских держателей подложек диаметром 6” с регулируемым углом
  • Нагреватель подложек из 3 кВт кварцевых ламп (6Х500 Вт)
  • Электронно-лучевая пушка с испарителем на 6Х25 куб. см
  • Полностью автоматизированный контроллер осаждения
  • Библиотека материалов и процессов
  • Высокопрецизионный изменяемый на 90° угол испарения
  • Лазерный регулировочный инструмент для подложек
  • Вращающиеся плоские держатели

Модель TFDS 141-P:


  • Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных защитных покрытий
  • Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали
  • Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт)
  • Мощный источник плазмы высокой однородности
  • Полностью автоматизированный контроллер осаждения
  • Настройка системы по требованиям клиента

Основные системы и установки компании VST:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Термическое испарение
  • Магнетронное распыление
  • Электронно-лучевое испарение
  • Вакуумные печи
  • Вакуумные плавильные установки
  • Вакуумные тестовые камеры
  • Элементы вакуумных систем

Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:


  • Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
  • Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
  • Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B

Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО