TFDS-141VST
Осаждение тонких пленок методами термического испарения материалов
Область применения:
Универсальная установка с боксовой камерой. Может быть оснащена практически любыми источниками осаждения и вспомогательными устройствами, такими как электронно-лучевая пушка, источники термического испарения, распыления, ионная пушка, тлеющий разряд, масс-спектрометр, оптический монитор, лазерный детектор конечной точки, интерферометр, эллипсометр, и др.
Техническая спецификация:
Прямоугольная камера из нержавеющей стали с трубами водяного охлаждения и 4” смотровыми окнами, высокопроизводительная автоматическая откачная система, ПЛК контроллер и различные держатели подложек, включая фиксированный охлаждаемый держатель, вращающийся и планетарный держатель с фиксированным или регулируемым углом.
Модель TFDS 141-K:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения высококачественных оптических покрытий
- Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали
- Шесть пластинок для подложек диаметром 150 мм с регулируемым углом
- Нагреватель подложек - 4 кВт кварцевые лампы (4Х1000 Вт)
- Электронно-лучевая пушка с испарителем на 4Х40 куб. см
- Два источника термического испарения 1000А
- Полностью автоматический контроллер осаждения
- Библиотека материалов и процессов
- Шесть держателей кварцевых датчиков толщины
Модель TFDS 141-T:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных стекол и пластиков
- Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали
- Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт)
- Четыре источника термического испарения
- Полностью автоматизированный контроллер осаждения
- Библиотека материалов и процессов
- Осаждение с ассистированием ионным лучом
Модель TFDS 141-E:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для малогабаритных полупроводниковых заготовок
- Восемь плоских держателей подложек диаметром 6” с регулируемым углом
- Нагреватель подложек из 3 кВт кварцевых ламп (6Х500 Вт)
- Электронно-лучевая пушка с испарителем на 6Х25 куб. см
- Полностью автоматизированный контроллер осаждения
- Библиотека материалов и процессов
- Высокопрецизионный изменяемый на 90° угол испарения
- Лазерный регулировочный инструмент для подложек
- Вращающиеся плоские держатели
Модель TFDS 141-P:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных защитных покрытий
- Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали
- Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт)
- Мощный источник плазмы высокой однородности
- Полностью автоматизированный контроллер осаждения
- Настройка системы по требованиям клиента
Основные системы и установки компании VST:
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Термическое испарение
- Магнетронное распыление
- Электронно-лучевое испарение
- Вакуумные печи
- Вакуумные плавильные установки
- Вакуумные тестовые камеры
- Элементы вакуумных систем
Избранные проекты выполненные нашей компанией с применением систем данного производителя:
- Электронно-лучевое испарение металлов для создания сверхпроводящих пленок на установке TFDS-462B
- Магнетронное распыление материалов типа NiCr, РС-3710 и др. для осаждения резистивных пленок на подложки 48 х60 мм на установке TFSP-840
- Электронно-лучевое и термическое испарение разных материалов на установке TFDS-462B
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.