nanoPVD S10AMoorfield
Настольная вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели nanoPVD S10A
Пилотные исследования, применения R&D, университетские задачи – вот области, где может использоваться установка серии Criterion.
Область применения:
Модель nanoPVD S10A – компактная настольная установка, отличающаяся простотой использования и сохраняющая при этом высокое качество напыляемых покрытий. Разработана для осаждения металлических и неорганических покрытий (оксиды, нитриды и др.) с хорошей повторяемостью. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.
Техническая спецификация:
Рабочая камера | Нержавеющая сталь 304, цилиндрическая (высота-250мм, диаметр-225мм), CF63 фланец для подключения системы откачки со встроенным дросселирующим клапаном. Верхняя крышка камеры на петлях с портами для поворота и перемещения пластин, подвода мощности к устройству нагрева, подсоединению термопары и привода заслонки. Нижняя платформа камеры с 3-мя наклоненными угловыми портами для конфокального расположения источников - катодов; центральный порт для источника, порты для датчиков и подачи газа. |
Система откачки | Турбомолекулярный, вентиляционный клапан, двухступенчатый пластинчато-роторный или сухой спиральный насос. Широкодиапазонный вакуумный датчик. |
Источники | 3х2”, 3x1” или один по центру |
Подложки | Стандартный размер образца – до 2” (опционально – до 4”). Регулируемая скорость вращения подложек. Опционально - устройство нагрева пластин до 500°С. |
Брошюра на русском языке: nano_pvd_rus.pdf
Основные системы и установки Moorfield:
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.