Minilab 125Moorfield
Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели Minilab 125
Область применения:
MiniLab 125 – производственная установка для напыления тонких пленок (для небольших партий). D-образная рабочая камера с фронтальной загрузкой имеет водяное охлаждение/нагрев, сокращая тем самым время цикла, а модульная конструкция установок MiniLab типа «Включи и работай» позволяет легко и быстро производить смену рабочих элементов и вносить изменения. MiniLab 125 – «гибкая» система с высокой производительностью, позволяющая осуществлять все процессы напыления в автоматическом или полуавтоматическом режимах. Применение: обучение, исследования и разработки, промышленность.
Техническая спецификация:
| Рабочая камера | D-образная камера из нержавеющей стали, ДхШхВ: 500x500x500мм для распыления и высотой 650мм для термического, низкотемпературного LTE и электронно-лучевого испарения со съемными верхней и нижней платформами для полной адаптации под нужды заказчика. ISO160 порт для откачки, NW63CF боковые порты для загрузки и наблюдения, 2xNW25KF порта на задней стенке, NW40CF боковой порт. Фронтальная дверь из алюминия или нержавеющей стали со смотровым окном (опция). Водяное охлаждение/нагрев (опция). |
| Источники | До 4-х резистивных источников, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 4-х 1м3 или 10м3 низкотемпературных источников LTE. Распыление: до 4 х 4” (Опция: 2”,3”,4” или 6” ) . Электронно-лучевое испарение: 2 источника, каждый до 100см3 или 4 x 7 см3 (6 x 4см3), многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Узел для реактивного ионного травления. |
| Подложки | Перемещение пластин в/из шлюза, вращение, нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции) |
Подробная информация по установке: сайт moorfield.co.uk
Основные системы и установки Moorfield:
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
