+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


Minilab 090Moorfield

Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели Minilab 090


minilab 090

Область применения:


MiniLab 090 – установка для напыления металлических и органических пленок. Совместима с перчаточным боксом и позволяет осуществлять все процессы напыления в ручном или полуавтоматическом режимах. Высота рабочей камеры установки делает ее идеальной для процессов напыления органических пленок (LTE-процессы). MiniLab 090 – «гибкая» система для производства. Применение: обучение, исследования и разработки, промышленность. Успешно применяется для производства фотоэлементов, OLED и PLED технологий.

Техническая спецификация:


Рабочая камера Нержавеющая сталь, с фронтальной загрузкой, выдвижной дверцей и сервисной частью с обратной стороны. Внешние габариты: 400x400x570мм (ДхШхВ), стандартно - 27-мм порты для размещения устройств и источников или 400мм фланцы для нестандартных условий, 3xNW40CF порты для вращения пластин, контроля температуры, нагрева и др., 2xISO160 порта для системы откачки и вспомогательный, смотровое окно.
Источники До 4-х резистивных источников, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 8-ми низкотемпературных источников LTE объемом 1 или 5 см3. Распыление: 2” или 3” . Электронно-лучевое испарение: 4 x 7 см3 или 6 x 7см3 многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Узел для реактивного ионного травления.
Подложки Вращение, перемещение пластин к загрузочному шлюзу. Опции: нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали.

Подробная информация по установке: сайт moorfield.co.uk


Основные системы и установки Moorfield:



Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО