+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


Minilab 080Moorfield

Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели Minilab 080


minilab 080

Область применения:


Установка MiniLab 080 применяется как для исследований и разработок, так и в производственных компания. С ее помощью можно реализовывать все процессы вакуумного напыления с любых источников в ручном или полуавтоматическом режимах. Камера установки имеет достаточную высоту, что делает ее идеальной для работы с электронно-лучевым источником и для работы с низкотемпературными резистивными источниками (LTE). Применение: исследования и разработки, осаждение тонких пленок в промышленности.

Техническая спецификация:


Рабочая камера Нержавеющая сталь, с фронтальной загрузкой, D-формы, 400х400х550 (высота) мм (внешние размеры), 23 базовых фланца (27 мм) для источников и различных вспомогательных инструментов
Источники До 4-х стандартных резистивных источников с водяным охлаждением, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 4-х LTE источников для распыления органических материалов. Электронно-лучевое испарение: 4х7 куб.см или 6х4 куб.см многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Распыление: до четырех 3” или 2” с опцией автоматического соосаждения. Узел для реактивного ионного травления.
Подложки Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции)

Подробная информация по установке: сайт moorfield.co.uk


Основные системы и установки Moorfield:



Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО