+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


Minilab 060Moorfield

Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели Minilab 060


minilab 060

Область применения:


Установка MiniLab 060 применяется для исследований и разработок, для образовательных и коммерческих учреждений. С ее помощью можно реализовывать все процессы вакуумного напыления с любых источников в ручном или полуавтоматическом режимах. Это самая малогабаритная установка из предлагаемых компанией Moorfield для производства опытных партий. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.

Техническая спецификация:


Рабочая камера Нержавеющая сталь, с фронтальной загрузкой, кубической формы, 400х400х400 мм (внешние размеры), 3 фланца CF40 для вращения подложек, контроля температуры, нагрева и др., смотровое окно CF63
Источники До 4-х резистивных источника с водяным охлаждением, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 4-х LTE источников для распыления органических материалов. Электронно-лучевое испарение: 4х7 куб.см или 6х4 куб.см многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Распыление: до четырех 3” или 2” с опцией автоматического соосаждения. Узел для реактивного ионного травления.
Подложки Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции)

Основные системы и установки Moorfield:



Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО