Minilab 026Moorfield
Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели Minilab 026
Область применения:
MiniLab 026 – компактная установка для напыления металлических и/или органических (OLED/PLED) покрытий. Является единственной установкой компании Moorfield, легко совместимой с уже существующим защитным перчаточным боксом. Модель MiniLab 026 отличается высокой эффективностью при небольших габаритах. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.
Техническая спецификация:
Рабочая камера | Цилиндрическая камера из нержавеющей стали, высота-350мм, диаметр-300мм (внутренние размеры), с откидной крышкой для легкого доступа, 14x27мм порты для размещения устройств и источников, 1xNW40CF и 2x27мм – для вращения пластин, контроля температуры, нагрева пластин и др., 2xNW25KF порта для измерения давления и напуска газа, 1xNW63CF смотровое окно на передней двери (опция), NW100-ISOK порт для откачки. |
Источники | До 3-х резистивных источников для термического испарения материалов, до 2-х низкотемпературных источников для напыления органических пленок. |
Подложки | Быстросъемный столик для образцов размером до 150мм, устройство для вращения подложек. Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции). |
Подробная информация по установке: сайт moorfield.co.uk
Основные системы и установки Moorfield:
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.