+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


Minilab 026Moorfield

Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели Minilab 026


minilab 026

Область применения:


MiniLab 026 – компактная установка для напыления металлических и/или органических (OLED/PLED) покрытий. Является единственной установкой компании Moorfield, легко совместимой с уже существующим защитным перчаточным боксом. Модель MiniLab 026 отличается высокой эффективностью при небольших габаритах. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.

Техническая спецификация:


Рабочая камера Цилиндрическая камера из нержавеющей стали, высота-350мм, диаметр-300мм (внутренние размеры), с откидной крышкой для легкого доступа, 14x27мм порты для размещения устройств и источников, 1xNW40CF и 2x27мм – для вращения пластин, контроля температуры, нагрева пластин и др., 2xNW25KF порта для измерения давления и напуска газа, 1xNW63CF смотровое окно на передней двери (опция), NW100-ISOK порт для откачки.
Источники До 3-х резистивных источников для термического испарения материалов, до 2-х низкотемпературных источников для напыления органических пленок.
Подложки Быстросъемный столик для образцов размером до 150мм, устройство для вращения подложек. Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции).

Подробная информация по установке: сайт moorfield.co.uk


Основные системы и установки Moorfield:



Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО