SSC-600/1000CHA Industries
Вакуумная сиcтема распыления, модели SSC-600/1000
Область применения:
Установка модели SSC-600/1000 – мощная производственная установка для промышленного напыления тонких пленок. Верхняя и нижняя базовые платформы с подложками позволяют осуществлять напыление пленок в режимах «сверху-вниз» и «снизу-вверх». Установка имеет уникальную конструкцию и позволяет выдвигать наружу базовые платформы для смены подложек или платформу с источниками для смены мишеней или обслуживания катодов.
Применение: Крупносерийное производство.
Техническая спецификация:
Вакуумная камера: Подложкодержатель: Система откачки: Контроль и управление: Источники: |
Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением Плоского типа с центральным вращением или планетарного типа Диффузионный вакуумный насос, турбомолекулярный или криогенный насос Ручное/Полуавтомат/Автоматическое До 4 катодов диаметрами до 200 мм |
Нижняя базовая платформа установки модели SSC-1000.
Загрузка образцов на подложкодержатель:
Подложкодержатель планетарного типа:
Катод и автоматизированная заслонка:
Брошюра на англ. языке на модель SSC-600/1000: ssc 600_1000.pdf
Полная брошюра на все установки распыления компании СНА Industries: cha_sputtering_brochure.pdf
Основные системы и установки CHA Industries:
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Термическое испарение
- Магнетронное распыление
- Электронно-лучевое испарение
- Электронно-лучевые источники
- Источники питания испарителей
- Вакуумные вводы и подложкодержатели
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.