+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


SSC-600/1000CHA Industries

Вакуумная сиcтема распыления, модели SSC-600/1000


Вакуумная сиcтема распыления, модели SSC-600/1000

Область применения:


Установка модели SSC-600/1000 – мощная производственная установка для промышленного напыления тонких пленок. Верхняя и нижняя базовые платформы с подложками позволяют осуществлять напыление пленок в режимах «сверху-вниз» и «снизу-вверх». Установка имеет уникальную конструкцию и позволяет выдвигать наружу базовые платформы для смены подложек или платформу с источниками для смены мишеней или обслуживания катодов.

Применение: Крупносерийное производство.

Техническая спецификация:


Вакуумная камера: 

Подложкодержатель:

Система откачки:

Контроль и управление:

Источники:

Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением

Плоского типа с центральным вращением или планетарного типа

Диффузионный вакуумный насос, турбомолекулярный или криогенный насос

Ручное/Полуавтомат/Автоматическое

До 4 катодов диаметрами до 200 мм

 

Нижняя базовая платформа установки модели SSC-1000.
Загрузка образцов на подложкодержатель:

Нижняя базовая платформа установки модели SSC-1000. Загрузка образцов на подложкодержатель

 

Подложкодержатель планетарного типа:

Подложкодержатель планетарного типа

 

Катод и автоматизированная заслонка:

Катод и автоматизированная заслонка


Брошюра на англ. языке на модель SSC-600/1000: ssc 600_1000.pdf

Полная брошюра на все установки распыления компании СНА Industries: cha_sputtering_brochure.pdf



Основные системы и установки CHA Industries:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Термическое испарение
  • Магнетронное распыление
  • Электронно-лучевое испарение
  • Электронно-лучевые источники
  • Источники питания испарителей
  • Вакуумные вводы и подложкодержатели

    


Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО