+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


SOLUTIONCHA Industries

Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели Solution


Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели Solution

Слишком часто недорогие, бюджетные PVD установки имеют слабый инструментарий и характеристики и недостаточные возможности, которые могут сильно повлиять на проводимые процессы. Так было до тех пор, пока компания CHA Industries в 2009 году не вывела на рынок свою очередную модель – Solution.

Область применения:


Установка модели Solution взяла много от своих старших предшественников – моделей MARK 50 и 40, например рубашку охлаждения камеры, которая позволяет оператору начать процесс при определенной температуре. Или достаточно большую камеру для того чтобы использовать самый большой электронно-лучевой источник. И безусловно, установка хороша, если она может использовать широкий инструментарий и это именно то, что Solution и предлагает своим пользователям.

Техническая спецификация:


  • Вакуумная камера
    • Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением.
    • Размер: 457 х 457 х 609 мм (Г х Ш х В)
    • Объем камеры: 127 л
    • Расстояние до источника: 381 мм
  • Подложкодержатели
    • Планетарного типа (образцы: 3 x 150мм / 5 x 125мм/ 7 x 100мм/ 10 x 75мм)
    • Lift-off (образцы:  9 x 100мм / 12 x 75мм)
    • C изменяемым углом (образцы 3 х 150 мм / 5 х 125 мм / 7 х 100 мм / 9 х 75 мм)
  • Насосы
    • Диффузионный вакуумный насос (1200 л/с)
    • Турбомолекулярный вакуумный насос (320 -600 л/с )
    • Криогенный насос (1100 л/с)
  • Система управления
    • Ручное
    • PLC
    • Полуавтомат
    • Сенсорный экран от Siemens
  • Источники
    • Электронная пушка: 4 x 25см3/4 x 40см3/ 6 x 15см3/ 6 x 25см3
    • Резистивный источник
    • Термический источник с поворотом

Брошюра на англ. языке на модель solution: cha_solution_sheet.pdf



Основные системы и установки CHA Industries:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Термическое испарение
  • Магнетронное распыление
  • Электронно-лучевое испарение
  • Электронно-лучевые источники
  • Источники питания испарителей
  • Вакуумные вводы и подложкодержатели

    


Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО