+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


SEC-600CHA Industries

Вакуумная установка нанесения тонких пленок, модели SEC-600/SE-600


Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели Criterion

В установках серии SE/SEC базовая платформа имеет диаметр до 508 мм и может интегрировать до 15 вакуумных вводов для инструментария, управления и манипуляции с элементами системы. Очень часто установка заказывается с колпаком диаметром 495 мм и планетарным подложкодержателем емкостью 18 подложек диаметром по 100 мм. Общее время откачки до рабочего вакуума – менее 30 мин, что позволяет достичь хорошей производительности.

Техническая спецификация:


  • Крионасос: 203 мм
  • Форвакуумный насос: 39 – 96 м3/ч
  • Холодная ловушка: емкость 2,5 л
  • Водоохлаждаемая ловушка
  • Высоковакуумный вертикальный затвор
  • Диаметр прохода форвакуумных клапанов – 75 мм
  • Электро-пневматический привод всех клапанов
  • Сдвоенный ионизационный вакуумный датчик

Опциональная спецификация:


  • Диффузионный вакуумный насос (2400 л/с)
  • Рабочая камера с водяным охлаждением, высотой до 762 мм
  • Любые подложкодержатели: планетарный, плоский, с изменяемым углом наклона и др.
  • Базовая платформа: диаметр 495 мм или 660 мм
  • Порт откачки: 197 мм
  • Источники: любые по запросу
  • Траверса поднятия камеры
  • Система управления уровнем LN2 в криоловушке
  • Ловушка с молекулярным ситом для предотвращения миграции капель масла в рабочую камеру
  • Порт для масс-спектрометра
  • Средства контроля за скоростью и толщиной напыления

Полнее про модель SEC-600: http://www.chaindustries.com/sec600-se600.html



Основные системы и установки CHA Industries:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


  • Термическое испарение
  • Магнетронное распыление
  • Электронно-лучевое испарение
  • Электронно-лучевые источники
  • Источники питания испарителей
  • Вакуумные вводы и подложкодержатели

    


Дополнительная информация:


  • Технологии вакуумного напыления тонких пленок
  • Элементы ваккумных систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО