RESOLUTIONCHA Industries
Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели Resolution
CHA Industries в 2008 году вывела на рынок очередную модель – Resolution.
Ее особенность – горизонтальная камера как у моделей серии MARK, но обе двери, передняя и задняя вешаются на петлях.
Область применения:
Установка может применяться для средне и мелкосерийного производства, там где не требуется сверхвысокой производительности. Гибкий инструментарий установки дает возможность использования ее и для R&D применений.
Техническая спецификация:
- Вакуумная камера
- Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением
- Размер: 813 х 813 мм
- Расстояние до источника: 727 мм
- Подложкодержатели
- Планетарного типа (с тремя полусферами)
- Lift-off
- C изменяемым углом
- Насосы
- Диффузионный вакуумный насос
- Турбомолекулярный вакуумный насос
- Криогенный насос
- Система управления
- PLC + Сенсорный экран
- PC/PLC
- Источники
- Электронная пушка
- Резистивный источник
- Резистивный источник с поворотом
- Ионный источник
Брошюра на англ. языке на модель resolution: cha_resolution_specs.pdf
Основные системы и установки CHA Industries:
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Термическое испарение
- Магнетронное распыление
- Электронно-лучевое испарение
- Электронно-лучевые источники
- Источники питания испарителей
- Вакуумные вводы и подложкодержатели
Дополнительная информация:
- Технологии вакуумного напыления тонких пленок
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.