MARK 50 / MARK 40CHA Industries

Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели MARK 50/40

Область применения:

Установки серии MARK являются «де-факто» стандартом в полупроводниковой промышленности. Они обеспечивают однородность нанесения пленки +/-3% и лучше и воспроизводимость от подложки к подложке +/- 3% и лучше. Системы выпускаются в различных модификациях: от полностью автоматизированного компьютерного управления до ручного. Они экономичны в использовании, обеспечивают быструю загрузку/выгрузку, обеспечивают широчайшие возможности для разных процессов и могут работать с практически любыми размерами, формами подложек из разных маетриалов. Эффективность дизайна серии установок MARK, легкость работы с ними и непревзойденная надежность делают их прекрасным выбором как для массового производства, так и для научных разработок и исследований.

Техническая спецификация:

Возможность совмещения термического испарения и распыления
Устройство перемещения подложек
Однородность покрытий: +/-3% и лучше, воспроизводимость: +/-3% и лучше
Осаждение пленок снизу-вверх
Оборудование для процессов:

Сферические катоды, ВЧ или постоянный ток (до 4шт).	Электронная пушка.
Со-осаждение.	Резистивные источники.
Смещение, ВЧ или постоянный ток.	Подтрав распылением.
Нагрев подложек до 400°С, многоэлементный.	Травление/предварительная очистка ионным пучком.
Нагрев подложек, станция.	Травление/модификация поверхности в плазме.

Источники питания для испарителей:

Электронная пушка: 6-10-15 кВт
Распыление: 1-3-5-15-30 кВт
Нагреватель: 6-10-16 кВт
Термическое осаждение: 1-5-10 кВт

Рабочая камера (возможное оснащение):

Спектрофотометр	Изоляция источника
Drop well source	Автоматическая загрузка подложек
Легкий доступ к передней и задней дверцам	Напыление на рулонные материалы
Изменение расстояния от источника до подложек	Система загрузки и выгрузки рулонных материалов
Различное расположение портов и смотровых окон	Автоматическая загрузка подложек

Подложкодержатели:

С регулируемым углом.	Планетарный в плоскости.
Вращающийся диск.	Механизм для осаждения на рулоны.
Вращающийся купол.	Заслонка(и).
Вертикальный барабан.	Планетарный в полусфере.
	Lift off.

Элементы системы откачки:

Сухая или масляная форвакуумная откачка.	Высоковакуумный затвор вертикального типа 406 мм в диаметре.
Опции регенерации.	Клапаны форвакуумной линии вертикального типа 75 мм в диам.
Знаменитая откачка под прямым углом.	Контроллер ионизационного датчика.
Очень высокая скорость откачки.	Система контроля подачи газов.
Опция насоса для откачки паров воды.	Ловушка с молекулярным ситом.
Ловушка холодного типа, LN2.	Контроль уровня LN2.

Выбор насосов:

диффузионный
турбомолекулярный
криогенный насосы

Предельный вакуум:

Система 10-9 Торр
Камера 10-8 Торр
Получение 10-7 Торр за менее чем 25 мин

Дополнительный крионасос:

Крионасос производительностью 50000 л/с для быстрой откачки паров воды.

Особенности:

Отличный дизайн: ЦИЛИНДРИЧЕСКАЯ ВАКУУМНАЯ КАМЕРА ГОРИЗОНТАЛЬНОГО ТИПА С ДВУМЯ ТОРЦЕВЫМИ ДВЕРЬМИ!!!
Установка серии MARK может выпускаться в двух спецификациях, включая термическое испарение и распыление или в комбинированном исполнении: например, осаждение барьерного слоя из TiW и поверхностную пленку из Алюминия посредством электронно-лучевой пушки.
Высокая скорость загрузки и разгрузки.
Эксплуатационная гибкость.
Современная система управления, дополнительная система PLC/PC.
Удобство в эксплуатации: система оснащена уникальной, запатентованной скользящей дверцей на передней стенке камеры, которая уменьшает необходимое для работы пространство и обеспечивает легкий доступ.
Поддержка подложек из множества различных материалов и разных размеров.
Изолирование источника в загрузочной камере, что позволяет обособленно откачивать рабочую камеру до высокого вакуума, прежде чем подвергать ее воздействию со стороны камеры источника, а также проводить предварительные процессы в рабочей камере обособленно от источников.
Эффективность дизайна, легкость в управлении и несравнимая надежность делают эту систему прекрасным выбором для широкого ряда производственных применений.
Каждая установка комплектуется индивидуально, чтобы отвечать всем необходимым требованиям заказчика.
Компоненты системы выбираются таким образом, чтобы оптимизировать стоимость ее производства, производительность и качество.

Брошюра на англ. языке на модель mark 50/40: cha_mk50_brochure.pdf

Брошюра на модель установки MARK 50 в модификации напыления тонких пленок на рулонные материалы: cha_web_roll_brochure.pdf

Основные системы и установки CHA Industries:

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

Термическое испарение
Магнетронное распыление
Электронно-лучевое испарение
Электронно-лучевые источники
Источники питания испарителей
Вакуумные вводы и подложкодержатели

Дополнительная информация:

Технологии вакуумного напыления тонких пленок
Элементы ваккумных систем
Расходные материалы

Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.