AdNaNoTek

Лазерная абляция (PLD)

В общем смысле идея PLD очень проста. Луч лазера в импульсном режиме фокусируется на поверхность твердой мишени. Сильнейшая абсорбция электромагнитной радиации твердой поверхностью мишени приводит к быстрому испарению материала мишени. Испаренное вещество мишени состоит из высоковозбужденных и ионизированных частиц. Они представляют собой факел раскаленной плазмы распространяющийся вперед от мишени если весь этот процесс происходит в вакууме.

Во время процесса испарения материала нужно контролировать только несколько ключевых параметров: плотность энергии лазера и частоту повторения импульсов. По сравнению с другими техниками распыления, где используют сравнительно большие по размеру мишени, испарение лазером в процессе лазерной абляции может позволить себе использование небольших мишеней.

Компания AdNaNoTek использует лазер не только для распыления мишеней, но также и для нагрева подложек в вакууме, что имеет несравненно больше преимуществ перед традиционными резистивными способами нагрева подложек.

Модель PLD-12

Спецификации:

UHV вакуумная камера диаметром 300 мм из стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr)
Дверь быстрой загрузки, Ø200 мм
4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов (перемещение 20 мм по XY, 100мм по оси Z, вращение 360°)
Нагрев до температуры 1200°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3)

Держатель образцов на 25 мм (возможно расширение применяемых образцов вплоть до 150 мм в диаметре)
Планетарный манипулятор мишеней на 6 позиций по 25 мм Ø
Система маскирования с Z-перемешениеем
Система контроля давления
Эксимерный лазер с оптической линейкой
Толщиномер
Клапан натекания цельнометаллический
Турбомолекулярный насос и форвакуумный насос
Широкодиапазонный вакуумный датчик
Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм
Программа управления всей системой (FBBear)
Минимальная занимаемая площадь
HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом

Модель PLD-18

Спецификации:

UHV вакуумная камера диаметром 457 мм из стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr)
Дверь быстрой загрузки, Ø200 мм
4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов (перемещение 20 мм по осям XY, 100мм по оси Z, вращение 360°)
Нагрев до температуры 1000°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3)

Держатель образцов на 25 мм (возможно расширение применяемых образцов вплоть до 150 мм в диаметре)
Планетарный манипулятор мишеней на 6 позиций по 25 мм Ø
Система маскирования с Z-перемешениеем
Магнитная защита порта ввода лазерного излучения
Система контроля остаточного давления
RHEED система с дифференциальной откачкой
Система контроля давления
Эксимерный лазер с оптической линейкой
Клапан натекания цельнометаллический
Турбомолекулярный насос и форвакуумный насос
Широкодиапазонный вакуумный датчик
Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм
Программа управления всей системой (FBBear)
Большое кол-во запасных портов для будущего апгрейда системы
HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом