+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru

AdNaNoTek

Лазерная абляция (PLD)

AdNaNoTek

В общем смысле идея PLD очень проста. Луч лазера в импульсном режиме фокусируется на поверхность твердой мишени. Сильнейшая абсорбция электромагнитной радиации твердой поверхностью мишени приводит к быстрому испарению материала мишени. Испаренное вещество мишени состоит из высоковозбужденных и ионизированных частиц. Они представляют собой факел раскаленной плазмы распространяющийся вперед от мишени если весь этот процесс происходит в вакууме.

 

Во время процесса испарения материала нужно контролировать только несколько ключевых параметров: плотность энергии лазера и частоту повторения импульсов. По сравнению с другими техниками распыления, где используют сравнительно большие по размеру мишени, испарение лазером в процессе лазерной абляции может позволить себе использование небольших мишеней.

 

Компания AdNaNoTek использует лазер не только для распыления мишеней, но также и для нагрева подложек в вакууме, что имеет несравненно больше преимуществ перед традиционными резистивными способами нагрева подложек.

 

Модель PLD-12


PLD-12.png

 

Спецификации:


 

  • UHV вакуумная камера диаметром 300 мм из стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr)
  • Дверь быстрой загрузки, Ø200 мм
  • 4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов (перемещение 20 мм по XY, 100мм по оси Z, вращение 360°)
  • Нагрев до температуры 1200°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3)
  • Держатель образцов на 25 мм (возможно расширение применяемых образцов вплоть до 150 мм в диаметре)
  • Планетарный манипулятор мишеней на 6 позиций по 25 мм Ø
  • Система маскирования с Z-перемешениеем
  • Система контроля давления
  • Эксимерный лазер с оптической линейкой
  • Толщиномер
  • Клапан натекания цельнометаллический
  • Турбомолекулярный насос и форвакуумный насос
  • Широкодиапазонный вакуумный датчик
  • Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм
  • Программа управления всей системой (FBBear)
  • Минимальная занимаемая площадь
  • HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом

 

Модель PLD-18


PLD-18.png

 

Спецификации:


 

  • UHV вакуумная камера диаметром 457 мм из стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr)
  • Дверь быстрой загрузки, Ø200 мм
  • 4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов (перемещение 20 мм по осям XY, 100мм по оси Z, вращение 360°)
  • Нагрев до температуры 1000°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3)
  • Держатель образцов на 25 мм (возможно расширение применяемых образцов вплоть до 150 мм в диаметре)
  • Планетарный манипулятор мишеней на 6 позиций по 25 мм Ø
  • Система маскирования с Z-перемешениеем
  • Магнитная защита порта ввода лазерного излучения
  • Система контроля остаточного давления
  • RHEED система с дифференциальной откачкой
  • Система контроля давления
  • Эксимерный лазер с оптической линейкой
  • Клапан натекания цельнометаллический
  • Турбомолекулярный насос и форвакуумный насос
  • Широкодиапазонный вакуумный датчик
  • Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм
  • Программа управления всей системой (FBBear)
  • Большое кол-во запасных портов для будущего апгрейда системы
  • HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом

 


Основная область деятельности компании AdNaNoTek:


Основные выпускаемые системы:


Комбинированные системы:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


Брошюры на русском:


Комбинированне UHV Системы: Combo_UHV.pdf

UHV Манипуляторы: UHV_manipulyatori.pdf

Механизмы нагрева образцов: Mehanizmi_nagreva_obrazcov.pdf

Нагрев лазером: Nagrev_lazerom.pdf

Системы по спецификации заказчика: Sistemi_po_specifikacii_zakazchika.pdf

Специальные проекты: Specialjnie_proekty.pdf


Дополнительная информация:


^ В НАЧАЛО