+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru

Лазерная абляция (Pulsed Laser Deposition)

Лазер впервые появился на широкой публике в 1960 г. С тех пор он превратился в мощный инструмент для многих применений. Особенно полезным лазер стал для области обработки материалов. Лазер обладает многими уникальными свойствами, такими как узкая частота генерации, когерентность, высокая плотность энергии. Часто энергия луча лазера достаточна для испарения твердых и тугоплавких материалов. Кроме того, благодаря высокой точности луча лазера, его надежности и пространственному разрешению он широко используется в промышленности для обработки тонких пленок, преобразования разных материалов, нагрева поверхности материалов, сварки и формирования микро рисунков. Также возможно можно испарять многокомпонентные материалы и осаждать их на подложки с образованием стехиометрических тонких пленок. Последнее применение лазера получило название пульсационно-лазерного осаждения.

 

В общем смысле идея PLD очень проста. Луч лазера в импульсном режиме фокусируется на поверхность твердой мишени. Сильнейшая абсорбция электромагнитной радиации твердой поверхностью мишени приводит к быстрому испарению материала мишени. Испаренное вещество мишени состоит из высоковозбужденных и ионизированных частиц. Они представляют собой факел раскаленной плазмы распространяющийся вперед от мишени если весь этот процесс происходит в вакууме.

 

Во время процесса испарения материала нужно контролировать только несколько ключевых параметров: плотность энергии лазера и частоту повторения импульсов. По сравнению с другими техниками распыления, где используют сравнительно большие по размеру мишени, испарение лазером в процессе лазерной абляции может позволить себе использование небольших мишеней.

 

^ В НАЧАЛО