PD-220NA |
SAMCO |
Модель PD-220NA очень гибкая по отношению к возможности проведения разных процессов осаждения и предназначена как для передовых исследований новых процессов, так и для небольших производственных задач. PD-220NA особенно хороша для осаждения кремний-содержащих пленок (SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H). Все стандартные особенности проведения процессов осаждения поддерживаются в рамках очень небольшого пространства нужного для размещения данной машины. Пленки с очень высокой однородностью по толщине и индексу рефракции можно получать на пластинах диаметром до 230 мм с прекрасным воспроизведением результатов от партии к партии. Компьютеризированный сенсорный экран имеет весьма дружественный интерфейс для управления всеми параметрами и хранения рецептов процессов.
Особенности:
- На цикл осаждения можно использовать следующие загрузки по подложкам: 5 х 75 мм, 3 х 100 мм или 1 х 200 мм
- Однородная скорость осаждения по времени
- Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможность все контролировать вручную.
- Поддержка продолжительного выполнения множественных разнородных процессов, например, процесс очистки пластин и затем процесс осаждения.
- Полный набор блокировок при возникновении нештатных ситуаций защищает оператора и окружающий персонал
Применения:
- Осаждение оксида кремния (SiOx)
- Осаждение нитрида кремния (SiN)
- Осаждение оксинитридов кремния (SiOxNy)
- Осаждение аморфного кремния (α-Si:H)
Брошюра модели PD-220N на англ. языке: PD-220N.pdf
Брошюра модели PD-220NL (с загрузочной камерой) на англ. языке: PD-220NL.pdf
Основные системы и установки:
- Травление RIE
- Травление ICP RIE
- Бош-травление (DRIE)
- XеF2-травление
- MOCVD
- PECVD
- LS-CVD
- Очистка плазмой
- Очистка УФ/озоном
Дополнительная информация:
- Технологии: Травление
- Технологии: CVD
- Технологии: Очистка (плазма и УФ)
- Элементы CVD-систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.