+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru

PD-220NA

SAMCO

pd-220na

Модель PD-220NA очень гибкая по отношению к возможности проведения разных процессов осаждения и предназначена как для передовых исследований новых процессов, так и для небольших производственных задач. PD-220NA особенно хороша для осаждения кремний-содержащих пленок (SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H).  Все стандартные особенности проведения процессов осаждения поддерживаются в рамках очень небольшого пространства нужного для размещения данной машины. Пленки с очень высокой однородностью по толщине и индексу рефракции можно получать на пластинах диаметром до 230 мм с прекрасным воспроизведением результатов от партии к партии. Компьютеризированный сенсорный экран имеет весьма дружественный интерфейс для управления всеми параметрами и хранения рецептов процессов.

 

Особенности:


  • На цикл осаждения можно использовать следующие загрузки по подложкам: 5 х 75 мм, 3 х 100 мм или 1 х 200 мм
  • Однородная скорость осаждения по времени
  • Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможность все контролировать вручную.
  • Поддержка продолжительного выполнения множественных разнородных процессов, например, процесс очистки пластин и затем процесс осаждения.
  • Полный набор блокировок при возникновении нештатных ситуаций защищает оператора и окружающий персонал

 

Применения:


  • Осаждение оксида кремния (SiOx)
  • Осаждение нитрида кремния (SiN)
  • Осаждение оксинитридов кремния (SiOxNy)
  • Осаждение аморфного кремния (α-Si:H)

 


Брошюра модели PD-220N на англ. языке: PD-220N.pdf

Брошюра модели PD-220NL (с загрузочной камерой) на англ. языке: PD-220NL.pdf

 

Основные системы и установки:



samco_2.pngsamco_3.pngsamco_4.pngsamco_5.png

Дополнительная информация:



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО