+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru

SAMCO

Плазма-стимулированное газофазное осаждение паров (РЕCVD)

SAMCO
samco_pecvd_1

PD-220NA

Осаждение пленок SiN и SiO2

Работа с подложками до 200 мм

Низкая стоимость

Небольшие габариты

Подробнее
samco_pecvd_2

PD-220NL

Осаждение пленок SiN и SiO2

Загрузочная камера

Работа с подложками до 200 мм

Небольшие габариты

Подробнее
samco_pecvd_3

PD-2203L

Модульная система

До 3-х рабочих камер

Предотвращение перекрестного загрязнения

Небольшие габариты

Подробнее
samco_pecvd_4

PD-3800

Осаждение пленок SiN и SiO2

Нижний электрод диаметром 380 мм

Работа с подложками 210 х 295 мм

Великолепная однородность осаждения

Подробнее
samco_pecvd_5

PD-3800L

Осаждение пленок оксидов и нитридов

Загрузочная камера

Высокая производительность

Подробнее
samco_pecvd_6

PD-4800

Осаждение пленок нитридов

Осаждение оксидов

Работа с подложками 210 х 295 мм

Великолепная однородность осаждения

Подробнее
samco_pecvd_7

PD-220LC

Производственная система

Осаждение пассивирующих слоев и межслойных диэлектриков

Работа с кассеты на кассету

Работа с подложками до 200 мм

Подробнее
samco_pecvd_8

PD-200D

Осаждение толстых алмазоподобных (DLC) пленок

Работа с подложками до 200 мм

Подробнее

Основные системы и установки:



samco_2.pngsamco_3.pngsamco_4.pngsamco_5.png

Дополнительная информация:



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО