AdNaNoTekМолекулярно-пучковая эпитаксия (MBE) |
AdNaNoTek |
Молекулярно-пучковая (или лучевая) эпитаксия – это техника роста тонких пленок на образце в сверх-глубоком вакууме с точнейшим контролем толщины пленок, их состава и морфологии. В установке МВЕ наносимый на образец материал нагревают в эффузионной ячейке для увеличения давления его паров. При глубоком вакууме испаренный материал в виде атомарно-молекулярного потока или пара движется к образцу не встречая соударений с атомами или молекулами остаточной атмосферы в ростовой камере и на образце конденсируется образуя тонкую пленку высокой чистоты.
Неотъемлемым атрибутом любой системы МВЕ являются эффузионные ячейки:
Особенности систем МВЕ:
- Сверхвысокий и высокий вакуум
- Полный ПК контроль и загрузка/сохранение данных
- Множественные источники испарения материалов
- ВЧ источники плазмы
- Эффузионные ячейки
- Электронно-лучевое испарение
- Система подачи высокочистого озона или азота
- Передовая система контроля за температурой образцов и мониторинг толщины осаждаемой пленки
- Монитор потоков материалов на принципах атомной абсорбции
- Дифракция быстрых электронов на отражение (RHEED)
- Продвинутые системы откачки рабочей камеры
Стандартная МВЕ система от AdNaNoTek:
СПЕЦИФИКАЦИЯ:
- UHV вакуумная камера из нержавеющей стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr)
- 4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов
- Нагрев образцов на манипуляторе до температуры 1200°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3)
- Эффузионные ячейки 10 шт
- Атомно-эмиссионный спектрометр как монитор контроля молекулярных пучков
- Внутренняя криопанель
- Крионасос 1700 л/с
- Турбомолекулярный насос с производительностью 680 л/с
- Система контроля давления
- Широкодиапазонный вакуумный датчик
- Клапан натекания цельнометаллический
- Система RHEED с дифференциальной откачкой
- Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм
- Программа управления всей системой (FBBear)
- Минимальная занимаемая площадь
- HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом 300 л/с
Основная область деятельности компании AdNaNoTek:
- Молекулярно – лучевая эпитаксия MBE
- Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
- Комбинированные UHV системы Integated Systems
- Системы физического паро-осаждения PVD Системы
Основные выпускаемые системы:
- Laser MBE Pro (PLD-18)
- Compact Laser MBE
- MBE-10
- IBSD распыления материалов ионным пучком и осаждения его на подложку
- Система осаждения с магнетронами
- Электронно-лучевая система осаждения пленок
Комбинированные системы:
-
MBE - PLD – SPUTTER (Молекулярно-пучковая эпитаксия – Лазерная абляция – Магнетрон)
-
IBSD – PLD (Осаждение при распылении ионным пучком и лазерная абляция)
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
Брошюры на русском:
Комбинированне UHV Системы: Combo_UHV.pdf
UHV Манипуляторы: UHV_manipulyatori.pdf
Механизмы нагрева образцов: Mehanizmi_nagreva_obrazcov.pdf
Нагрев лазером: Nagrev_lazerom.pdf
Системы по спецификации заказчика: Sistemi_po_specifikacii_zakazchika.pdf
Специальные проекты: Specialjnie_proekty.pdf
Дополнительная информация:
- Технологии PLD
- Элементы вакуумных систем
- Расходные материалы