+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru

AdNaNoTek

Молекулярно-пучковая эпитаксия (MBE)

AdNaNoTek

adnanotek uhv-mbe-x

Молекулярно-пучковая (или лучевая) эпитаксия – это техника роста тонких пленок на образце в сверх-глубоком вакууме с точнейшим контролем толщины пленок, их состава и морфологии. В установке МВЕ наносимый на образец материал нагревают в эффузионной ячейке для увеличения давления его паров. При глубоком вакууме испаренный материал в виде атомарно-молекулярного потока или пара движется к образцу не встречая соударений с атомами или молекулами остаточной атмосферы в ростовой камере и на образце конденсируется образуя тонкую пленку высокой чистоты.

 

Неотъемлемым атрибутом любой системы МВЕ являются эффузионные ячейки:

эффузионные ячейки

 

Особенности систем МВЕ:


  • Сверхвысокий и высокий вакуум
  • Полный ПК контроль и загрузка/сохранение данных
  • Множественные источники испарения материалов
  • ВЧ источники плазмы
  • Эффузионные ячейки
  • Электронно-лучевое испарение
  • Система подачи высокочистого озона или азота
  • Передовая система контроля за температурой образцов и мониторинг толщины осаждаемой пленки
  • Монитор потоков материалов на принципах атомной абсорбции
  • Дифракция быстрых электронов на отражение (RHEED)
  • Продвинутые системы откачки рабочей камеры

 

Стандартная МВЕ система от AdNaNoTek:

Стандартная МВЕ система от AdNaNoTek

 

СПЕЦИФИКАЦИЯ:


  • UHV вакуумная камера из нержавеющей стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr)
  • 4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов
  • Нагрев образцов на манипуляторе до температуры 1200°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3)
  • Эффузионные ячейки 10 шт
  • Атомно-эмиссионный спектрометр как монитор контроля молекулярных пучков
  • Внутренняя криопанель
  • Крионасос 1700 л/с
  • Турбомолекулярный насос с производительностью 680 л/с
  • Система контроля давления
  • Широкодиапазонный вакуумный датчик
  • Клапан натекания цельнометаллический
  • Система RHEED с дифференциальной откачкой
  • Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм
  • Программа управления всей системой (FBBear)
  • Минимальная занимаемая площадь
  • HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом 300 л/с

 

Основная область деятельности компании AdNaNoTek:


Основные выпускаемые системы:


Комбинированные системы:


Основные выпускаемые продукты и компоненты:


Брошюры на русском:


Комбинированне UHV Системы: Combo_UHV.pdf

UHV Манипуляторы: UHV_manipulyatori.pdf

Механизмы нагрева образцов: Mehanizmi_nagreva_obrazcov.pdf

Нагрев лазером: Nagrev_lazerom.pdf

Системы по спецификации заказчика: Sistemi_po_specifikacii_zakazchika.pdf

Специальные проекты: Specialjnie_proekty.pdf


Дополнительная информация:


^ В НАЧАЛО