+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


Реактивно-ионное травление RIESAMCO


 

rie-1c

RIE-1C

Настольная система
Работа с подложками до 100 мм
Низкая стоимость владения
Небольшие габариты

Подробнее
rie-10nr

RIE-10NR

 

Запись многошаговых рецептов

Работа с подложками до 200 мм

Компактная

 

Подробнее
rie-200nl

RIE-200NL

Система сухого травления с загрузочной камерой

Работа с подложками до 200 мм

Запись многошаговых рецептов

Небольшие габариты

Подробнее
rie-300nr

RIE-300NR

Полный автомат

Работа с подложками до 300 мм

Запись многошаговых рецептов

Сертифицирован SEMI-S2

Подробнее
rie-100c

RIE-100C

Работа с подложками до 200 мм

Запись многошаговых рецептов

Работа с кассеты на кассету

Полная автоматизация

Высокая производительность

Подробнее
rie-200c

RIE-200C

Работа с подложками до 200 мм

Рабочая камера из нержавеющей стали

Работа с кассеты на кассету

Роботизированная подача

Подробнее
rie-200lc

RIE-200LC

 

Работа с подложками до 200 мм

Работа с кассеты на кассету

 

 

Подробнее
rie-6000

RIE-6000

Работа с подложками до 600 х 600 мм

Высокая производительность

ВЧ генератор на 5 кВт

До 4 газовых линий

Подробнее

 


Основные системы и установки:



samco_2.pngsamco_3.pngsamco_4.pngsamco_5.png

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО