+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


Глубокое травление кремния DRIESAMCO

Глубокое реактивно-ионное травление с использованием Бош-процесса (DRIE)


SAMCO была первой компанией-производителем системы тарвления в Японии, которая лицензировала Бош процесс. С тех пор компания его непрерывно совершенствовала с применением свой технологии Tornado Coil.

Преимущества систем DRIE SAMCO:


  • Наиболее быстрые в индустрии скорости травления (свыше 50 мкм/мин)
  • Высокая селективность, сыше 250:1 (Si к фоторезисту)
  • Однородность травления ± 5% или лучше (на подложках до 200 мм в диаметре)
  • Высокое аспектное соотношение (лучше чем 40:1)
  • Низкая шероховатость стенок, гладкий профиль стенок (неоднородности шероховатости менее чем 0,1 мкм)
  • Патентованная технология против подтрава стенок на дне траншей (структур) с применением двух ВЧ мощностей при травлении структур SOI.
  • Уникальная особенность «анти-наклон», которая позволяет получать высокую однородность
  • Электростатический прижим подложек и охлаждение обратной стороны гелием (для более точного контроля температуры подложек)
  • Смена ICP-источника (головы) для травления DRIE или SiO2

 

 

rie-400iPB

RIE-400iPB

Работа с подложками до 100 мм
Легкость применения
Легкость обслуживания
Опциональная «голова» для SiO2 травления
Бош-процесс для глубокого травления кремния
Электростатический прижим ESC

Подробнее
rie-800iPBC

RIE-800iPBC

Работа с подложками до 200 мм
Работа с кассеты на кассету
Бош-процесс для глубокого травления кремния
Высокоскоростные линии подачи газа для более гладких стенок структур
Электростатический прижим ESC

Подробнее
rie-800iPB

RIE-800iPB

Работа с подложками до 200 мм
Загрузочная камера
Бош-процесс для глубокого травления кремния
Высокоскоростные линии подачи газа для более гладких стенок структур
Электростатический прижим ESC

Подробнее

 


Основные системы и установки:



samco_2.pngsamco_3.pngsamco_4.pngsamco_5.png

Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО