+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru

planarGROW-6E

planarTECH

planarGROW-6Е  – простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Система позволяет работать с различными газами, проводить процессы при атмосферном давлении и в вакууме.

Данная установка имеет реактор большого диаметра и может работать с подложками шириной 150 мм и длиной до 1,5 метра.

Система planarGROW-2S™ компании planarTECH является передовым инструментом использующим процесс термического химического осаждения паров с использованием металлических катализаторов для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов.

Область применения:


Установка модели planarGROW-6Е  используется для выпуска малых партий 2D- материалов:  углеродных нанотрубок, графена, MoS2

 

Стандартная спецификация:


  • Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
  • Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, графена и др. 
  • 3-зонная (опция) резистивная печь для температур до 1100 °С
  • Турбомолекулярная система откачки
  • Ручная загрузка образцов
  • Кварцевая реакционная камера, система напуска газа, термопары
  • Двойное вакуумное уплотнение по консолям реактора
  • Газовые линии с расходомерами – до 6 шт.
  • Гарантия 12 месяцев
  • Интуитивно понятное ПО и система защиты

 

 

 

planarGROW-6E

 

 

 

Технические характеристики:


Рабочая камера Кварц, размеры (Диам х Дл): 150 х 1500 мм
Печь 3-зонная, Кантал, Макс. 1100 °С (150 х 1000мм)
Вакуумный насос 600 л/мин, пластинчато-роторный турбомолекулярный насос
Рабочие газы Аргон-1000 мл/мин, H2-100 мл/мин, CH4-200 мл/мин
Управление Полный автомат с управлением через сенсорный экран PLC

 

Основные системы и установки planarTECH:



Дополнительная информация:




Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

 

^ В НАЧАЛО