planarGROW-6E |
planarTECH |
planarGROW-6Е – простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Система позволяет работать с различными газами, проводить процессы при атмосферном давлении и в вакууме.
Данная установка имеет реактор большого диаметра и может работать с подложками шириной 150 мм и длиной до 1,5 метра.
Система planarGROW-2S™ компании planarTECH является передовым инструментом использующим процесс термического химического осаждения паров с использованием металлических катализаторов для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов.
Область применения:
Установка модели planarGROW-6Е используется для выпуска малых партий 2D- материалов: углеродных нанотрубок, графена, MoS2
Стандартная спецификация:
- Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
- Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, графена и др.
- 3-зонная (опция) резистивная печь для температур до 1100 °С
- Турбомолекулярная система откачки
- Ручная загрузка образцов
- Кварцевая реакционная камера, система напуска газа, термопары
- Двойное вакуумное уплотнение по консолям реактора
- Газовые линии с расходомерами – до 6 шт.
- Гарантия 12 месяцев
- Интуитивно понятное ПО и система защиты
Технические характеристики:
| Рабочая камера | Кварц, размеры (Диам х Дл): 150 х 1500 мм |
| Печь | 3-зонная, Кантал, Макс. 1100 °С (150 х 1000мм) |
| Вакуумный насос | 600 л/мин, пластинчато-роторный турбомолекулярный насос |
| Рабочие газы | Аргон-1000 мл/мин, H2-100 мл/мин, CH4-200 мл/мин |
| Управление | Полный автомат с управлением через сенсорный экран PLC |
Основные системы и установки planarTECH:
Дополнительная информация:
Рамановские измерения графена при низких температурах- Использование AFM микроскопии при низких температурах
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
