Easy Tube 2000Firstnano
Термическое газо-фазное осаждение паров (CVD) для синтеза наноструктурированных материалов
Система EasyTube™2000 является передовым инструментом, реализующим процесс CVD с использованием катализаторов для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов, включая одностенные и многостенные углеродные нанотрубки и нанопровода при использовании комбинаций гибридных газов и прекурсоров твердых/жидких источников. Система сконструирована в соответствии с современными стандартами по безопасности.
Область применения:
Наноэлектроника, производство полупроводников, фотовольтаика, MEMS, создание композитных и структурных покрытий и др.
Стандартная спецификация:
- Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows
- Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, выровненных нанотрубок и нанопроводов
- 3-зонная резистивная печь для температур до 1100 °С
- Высокая производительность системы с печью, имеющей опцию быстрого охлаждения FastCool
- Запатентованная каскадная система контроля температуры в режиме реального времени
- Консольная система автоматической загрузки
- Кварцевая реакционная камера диаметром 3”
- Работа с образцами до 50 мм в диаметре
- Газовые линии сверхвысокого давления с расходомерами – 4шт.
- Гарантия 12 месяцев
- Интуитивно понятное ПО и система защиты
- Сертификация CE и Semi-S2/S8
Брошюра на русском языке: FirstNano_EasyTube_2000_rus.pdf
Сравнительная таблица CVD систем: ET_Comparison.pdf
Основные системы и установки firstnano:
Дополнительная информация:
- Технологии химического пароосаждения тонких пленок
- Элементы CVD систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.