+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems-mve.ru


Easy Tube 2000Firstnano

Термическое газо-фазное осаждение паров (CVD) для синтеза наноструктурированных материалов


easytube 2000Система EasyTube™2000 является передовым инструментом, реализующим процесс CVD с использованием катализаторов для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов, включая одностенные и многостенные углеродные нанотрубки и нанопровода при использовании комбинаций гибридных газов и прекурсоров твердых/жидких источников. Система сконструирована в соответствии с современными стандартами по безопасности.

 

Область применения:


Наноэлектроника, производство полупроводников, фотовольтаика, MEMS, создание композитных и структурных покрытий и др.

Стандартная спецификация:


  • Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows
  • Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, выровненных нанотрубок и нанопроводов
  • 3-зонная резистивная печь для температур до 1100 °С
  • Высокая производительность системы с печью, имеющей опцию быстрого охлаждения FastCool
  • Запатентованная каскадная система контроля температуры в режиме реального времени
  • Консольная система автоматической загрузки
  • Кварцевая реакционная камера диаметром 3”
  • Работа с образцами до 50 мм в диаметре
  • Газовые линии сверхвысокого давления с расходомерами – 4шт.
  • Гарантия 12 месяцев
  • Интуитивно понятное ПО и система защиты
  • Сертификация CE и Semi-S2/S8

Брошюра на русском языке: FirstNano_EasyTube_2000_rus.pdf

Сравнительная таблица CVD систем: ET_Comparison.pdf


Основные системы и установки firstnano:


Дополнительная информация:


  • Технологии химического пароосаждения тонких пленок
  • Элементы CVD систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО