+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67
tech@cryosystems.ru


Easy Tube 101Firstnano

Термическое газо-фазное осаждение паров (CVD) для синтеза наноструктурированных материалов


easytube 101EasyTube® 101 – бюджетная, простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Система позволяет работать с воспламеняющимися, коррозионными и токсичными газами, такими как силан, герман, диборан, HCl, водород и металл-органические прекурсоры, проводить процессы при атмосферном давлении и в вакууме.

 

Область применения:


Установка модели EasyTube® 101 используется для отработки процессов и ее основные применения: синтез углеродных нанотрубок, графена, полупроводниковых нанопроводов; эпитаксии, получения оксидов, нитридов, отжига, диффузии, химической инфильтрации из паровой фазы, атомно-слоевого осаждения (ALD) при использовании газообразных, жидких и твердых прекурсоров.

Стандартная спецификация:


  • Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
  • Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, нанопроводов, отжига, диффузии, оксидов, нитридов, ALD, эпитаксиальных слоев, графена и др.
  • 3-зонная резистивная печь для температур до 1100 °С
  • Консольная система автоматической загрузки
  • Работа с подложками 25 х 50 мм
  • Кварцевая реакционная камера, подложкодержатель, система напуска газа, термопара
  • Двойное вакуумное уплотнение с системой контроля течей
  • Газовые линии сверхвысокого давления с расходомерами – 4шт.
  • Гарантия 12 месяцев
  • Интуитивно понятное ПО и система защиты
  • Сертификация CE и Semi-S2/S8

Брошюра на английском языке: ET101.pdf


Основные системы и установки firstnano:


Дополнительная информация:


  • Технологии химического пароосаждения тонких пленок
  • Элементы CVD систем
  • Расходные материалы



Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.

^ В НАЧАЛО