Применение техники криогенной конфокальной микроскопии

Очень сложный процесс изготовления микроустройств получил новую поддержку от возможности использования криогенной оптической литографии in-situ.

Например, при изготовлении микрорезонаторов в области отдельной квантовой точки необходимо проэкспонировать фоторезист при параллельном наблюдении люминесценции этого квантового объекта, что несомненно требует применения криогенных температур.

Группа лаборатории Фотоники и Наноструктур под руководством профессора Паскаля Снелларта разработала эту технику совместив конфокальную микроскопию с оптической литографией in-situ при криогенных температурах. Эта работа позволяет изготовление таких микроустройств со 100% выходом. До их революционной разработки подобные попытки изготовления микроустройств былы весьма неэффективны. Основываясь на этой великолепной работе компания attocube в настоящий момент предлагает трехканальный криогенный конфокальный микроскоп, способный обеспечить такую высокую эффективность. Использование микроскопа attoCFM I с тремя каналами, низкотемпературные квантовые устройства, такие как квантовые точки могут быть индивидуально отсеяны по их люминесцентному «отпечатку».

Сложная система с обратной связью позволяет пользователю определить и переместить позицию каждой квантовой точки с повторяемостью лучше чем 10 нм. Пока, два канала используются для лазерного возбуждения  и обнаружения эмиссии квантовой точки, третий канал используется для второго лазера для задач литографии с нанометровой точностью в области предварительно обнаруженной квантовой точки.

Эта техника позволяет исследователю создать столбчатые микро-резонаторы или другие сложные структуры в области квантовой точки.