Задача Заказчика:
Установка термического осаждения пленок в рамках очень ограниченного бюджета.
Решение, предложенное Заказчику:
Ввиду ограниченного бюджета на первом этапе обсуждения будущей установки было принято решение отказаться от поставляемых нашей компанией импортных установок. Мы предложили заказчику решение, основанное на том, что часть составных частей установки будет произведена российскими компаниями и только ключевые компоненты будут импортного производства. Так в качестве средств вакуумной откачки и контроля мы взяли турбомолекулярный насос и вакуумные датчики компании Pfeiifer, сухой форвакуумный насос компании Anest Iwata, вакуумную арматуру HTC, импортную вакуумную камеру из пирекса и шаговые двигатели. Все остальные компоненты, включая термический источник, вакуумные вводы, блок питания термического источника, вакуумные фланцы, подложкодержатель, заслонка источников были произведены в Томске, Новосибирске, Подмосковье и Москве.
Фото установки: